激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2013年
3期
1-3
,共3页
邢飞%廖进昆%杨晓军%唐雄贵%段毅
邢飛%廖進昆%楊曉軍%唐雄貴%段毅
형비%료진곤%양효군%당웅귀%단의
纳米压印光刻%高分辨率%高重复性
納米壓印光刻%高分辨率%高重複性
납미압인광각%고분변솔%고중복성
nanoimprint%high resolution%high repeatability
纳米压印技术由于具有操作简单、高分辨率、成本低、重复性高等优点,近年来受到国内外研究机构的高度重视.本文主要介绍了目前主流的几种纳米压印技术,并简要概述了纳米压印技术的研究现状和应用前景.
納米壓印技術由于具有操作簡單、高分辨率、成本低、重複性高等優點,近年來受到國內外研究機構的高度重視.本文主要介紹瞭目前主流的幾種納米壓印技術,併簡要概述瞭納米壓印技術的研究現狀和應用前景.
납미압인기술유우구유조작간단、고분변솔、성본저、중복성고등우점,근년래수도국내외연구궤구적고도중시.본문주요개소료목전주류적궤충납미압인기술,병간요개술료납미압인기술적연구현상화응용전경.
