中国有色金属学报（英文版）
中國有色金屬學報（英文版）
중국유색금속학보（영문판）
TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA
2013年
5期
1390-1394
,共5页
二氧化钛%薄膜%化学浴沉积%自组装方法
二氧化鈦%薄膜%化學浴沉積%自組裝方法
이양화태%박막%화학욕침적%자조장방법
titanium oxide%thin film%chemical bath deposition%self-assembly method
利用化学浴沉积和层-层自组装方法,在含有自组装涂层硅衬底上制备二氧化钛薄膜.研究温度对二氧化钛薄膜结构、厚度和微观形貌的影响.紫外可见光谱结果表明,钛过氧配合物在410 nm处的吸收峰强度随着温度的升高而逐渐减小.由XRD分析结果可知,沉积的纳米二氧化钛薄膜为无定形层.SEM分析结果表明,在温度60℃、时间2h时可制得连续、致密、均一的二氧化钛薄膜,粒度分布为20～40 nm间.EDS分析表明薄膜的化学组成为O和Ti,两者的摩尔比为2.2∶1.
利用化學浴沉積和層-層自組裝方法,在含有自組裝塗層硅襯底上製備二氧化鈦薄膜.研究溫度對二氧化鈦薄膜結構、厚度和微觀形貌的影響.紫外可見光譜結果錶明,鈦過氧配閤物在410 nm處的吸收峰彊度隨著溫度的升高而逐漸減小.由XRD分析結果可知,沉積的納米二氧化鈦薄膜為無定形層.SEM分析結果錶明,在溫度60℃、時間2h時可製得連續、緻密、均一的二氧化鈦薄膜,粒度分佈為20～40 nm間.EDS分析錶明薄膜的化學組成為O和Ti,兩者的摩爾比為2.2∶1.
이용화학욕침적화층-층자조장방법,재함유자조장도층규츤저상제비이양화태박막.연구온도대이양화태박막결구、후도화미관형모적영향.자외가견광보결과표명,태과양배합물재410 nm처적흡수봉강도수착온도적승고이축점감소.유XRD분석결과가지,침적적납미이양화태박막위무정형층.SEM분석결과표명,재온도60℃、시간2h시가제득련속、치밀、균일적이양화태박막,립도분포위20～40 nm간.EDS분석표명박막적화학조성위O화Ti,량자적마이비위2.2∶1.
