中国有色金属学报（英文版）
中國有色金屬學報（英文版）
중국유색금속학보（영문판）
TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA
2013年
5期
1334-1341
,共8页
余志明%王健%魏秋平%孟令聪%郝诗梦%龙芬
餘誌明%王健%魏鞦平%孟令聰%郝詩夢%龍芬
여지명%왕건%위추평%맹령총%학시몽%룡분
金刚石薄膜%热丝化学气相沉积%硼掺杂%电化学性能%铌基体%电极
金剛石薄膜%熱絲化學氣相沉積%硼摻雜%電化學性能%鈮基體%電極
금강석박막%열사화학기상침적%붕참잡%전화학성능%니기체%전겁
diamond film%hot filament chemical vapor deposition (HFCVD)%boron doping%electrochemical behavior%niobium substrate%electrode
采用热丝化学气相沉积法在铌基体上制备一系列硼掺杂金刚石薄膜电极,并通过扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线衍射、显微硬度和电化学分析等手段研究沉积所得样品中B/C比对薄膜的形貌、生长速率、化学键结构、物相组成和电化学性能的影响.结果表明:金刚石的平均晶粒尺寸和生长速率随着B/C比的增加而减小;金刚石薄膜在9.8 N载荷下的维氏显微压痕测试中表现出优异的结合强度；相对于其他掺杂水平的样品,B/C比为2％的BDD电极具有更宽的电势窗口和更低的背景电流以及在H2SO4和KFe(CN)6溶液中更快的氧化还原反应速率.
採用熱絲化學氣相沉積法在鈮基體上製備一繫列硼摻雜金剛石薄膜電極,併通過掃描電子顯微鏡、激光拉曼光譜、X射線衍射、顯微硬度和電化學分析等手段研究沉積所得樣品中B/C比對薄膜的形貌、生長速率、化學鍵結構、物相組成和電化學性能的影響.結果錶明:金剛石的平均晶粒呎吋和生長速率隨著B/C比的增加而減小;金剛石薄膜在9.8 N載荷下的維氏顯微壓痕測試中錶現齣優異的結閤彊度；相對于其他摻雜水平的樣品,B/C比為2％的BDD電極具有更寬的電勢窗口和更低的揹景電流以及在H2SO4和KFe(CN)6溶液中更快的氧化還原反應速率.
채용열사화학기상침적법재니기체상제비일계렬붕참잡금강석박막전겁,병통과소묘전자현미경、격광랍만광보、X사선연사、현미경도화전화학분석등수단연구침적소득양품중B/C비대박막적형모、생장속솔、화학건결구、물상조성화전화학성능적영향.결과표명:금강석적평균정립척촌화생장속솔수착B/C비적증가이감소;금강석박막재9.8 N재하하적유씨현미압흔측시중표현출우이적결합강도；상대우기타참잡수평적양품,B/C비위2％적BDD전겁구유경관적전세창구화경저적배경전류이급재H2SO4화KFe(CN)6용액중경쾌적양화환원반응속솔.
