机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2013年
6期
前插3-前插5
,共1页
纳米测量%激光干涉仪
納米測量%激光榦涉儀
납미측량%격광간섭의
超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证.激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化；电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制.文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍.
超精密加工的應用日益廣汎,其加工精度和錶麵質量要求都很高,需要相應的超精密檢測手段予以保證.激光榦涉儀、光柵、X射線榦涉儀、掃描探針顯微術、電容電感傳感器及F-P榦涉儀等可以實現納米測量併已經商品化；電容傳感器、X射線榦涉儀、F-P榦涉儀等少數儀器分辨率可達或接近皮米級,但因其測量範圍通常較小,在應用中受一定限製.文中針對幾種實際應用比較成熟的激光榦涉儀,就其應用領域、技術參數、功能特點等予以介紹.
초정밀가공적응용일익엄범,기가공정도화표면질량요구도흔고,수요상응적초정밀검측수단여이보증.격광간섭의、광책、X사선간섭의、소묘탐침현미술、전용전감전감기급F-P간섭의등가이실현납미측량병이경상품화；전용전감기、X사선간섭의、F-P간섭의등소수의기분변솔가체혹접근피미급,단인기측량범위통상교소,재응용중수일정한제.문중침대궤충실제응용비교성숙적격광간섭의,취기응용영역、기술삼수、공능특점등여이개소.
