机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
4期
259-262
,共4页
臧跃%周海%徐晓明%卓志国
臧躍%週海%徐曉明%卓誌國
장약%주해%서효명%탁지국
SiC衬底%研磨%粗糙度%加工效率
SiC襯底%研磨%粗糙度%加工效率
SiC츤저%연마%조조도%가공효솔
介简单地介绍了发光二极管的发展历程,概述了LED用SiC衬底的超精密研磨技术的最新现状及发展趋势,阐述了研磨技术的原理、应用和优势.同时结合实验室X61 930B2M-6型研磨机,分析了加工工艺参数对研磨表面质量的影响,介绍了当前SiC衬底加工达到的糟度水平,即SiC衬底表面粗糙度小于50nm,平面度和翘曲度均小于5,并提出了研磨加工将会向高精度、高效率的方向发展.SiC作为外延的最佳衬底,必将成为研究热点,未来SiC会向大尺寸、更低缺陷水平方向发展.
介簡單地介紹瞭髮光二極管的髮展歷程,概述瞭LED用SiC襯底的超精密研磨技術的最新現狀及髮展趨勢,闡述瞭研磨技術的原理、應用和優勢.同時結閤實驗室X61 930B2M-6型研磨機,分析瞭加工工藝參數對研磨錶麵質量的影響,介紹瞭噹前SiC襯底加工達到的糟度水平,即SiC襯底錶麵粗糙度小于50nm,平麵度和翹麯度均小于5,併提齣瞭研磨加工將會嚮高精度、高效率的方嚮髮展.SiC作為外延的最佳襯底,必將成為研究熱點,未來SiC會嚮大呎吋、更低缺陷水平方嚮髮展.
개간단지개소료발광이겁관적발전역정,개술료LED용SiC츤저적초정밀연마기술적최신현상급발전추세,천술료연마기술적원리、응용화우세.동시결합실험실X61 930B2M-6형연마궤,분석료가공공예삼수대연마표면질량적영향,개소료당전SiC츤저가공체도적조도수평,즉SiC츤저표면조조도소우50nm,평면도화교곡도균소우5,병제출료연마가공장회향고정도、고효솔적방향발전.SiC작위외연적최가츤저,필장성위연구열점,미래SiC회향대척촌、경저결함수평방향발전.
