真空
真空
진공
VACUUM
2013年
6期
32-35
,共4页
郭金光%游锦山%汪根生%陈长琦
郭金光%遊錦山%汪根生%陳長琦
곽금광%유금산%왕근생%진장기
磁控溅射%PLC%温度控制
磁控濺射%PLC%溫度控製
자공천사%PLC%온도공제
magnetron sputtering%PLC%temperature control
磁控溅射温度控制系统的精度和运行稳定性对沉积结构稳定和性能优良的薄膜材料极为重要.本文以西门子S7-300可编程控制器(PLC)为控制核心,通过触摸屏构成人机交换界面(HMI),论述了磁控溅射温度控制系统的性能特征与控制方法.以STEP 7为软件平台,扩展PLC模拟量输入模块SM331对热电阻标准模拟信号实现A/D转换;在定时中断组织模块(0B35)中循环调用温度功能块(FB58)编程实现对温度的PID闭环控制;结合FB58集成的脉宽调制输出功能,将PID运算结果转换成脉冲占空比控制固态继电器执行.PLC与HMI基于MPI协议实现通信功能,采用WinCC flexible组态友好的控制界面,完成数据输入/输出、参数修改、实时监控和报警联锁.该系统缩短了控制回路的调节时间,并减小超调量,提高了磁控溅射温度控制的自动化水平、控制精度和稳定性.
磁控濺射溫度控製繫統的精度和運行穩定性對沉積結構穩定和性能優良的薄膜材料極為重要.本文以西門子S7-300可編程控製器(PLC)為控製覈心,通過觸摸屏構成人機交換界麵(HMI),論述瞭磁控濺射溫度控製繫統的性能特徵與控製方法.以STEP 7為軟件平檯,擴展PLC模擬量輸入模塊SM331對熱電阻標準模擬信號實現A/D轉換;在定時中斷組織模塊(0B35)中循環調用溫度功能塊(FB58)編程實現對溫度的PID閉環控製;結閤FB58集成的脈寬調製輸齣功能,將PID運算結果轉換成脈遲佔空比控製固態繼電器執行.PLC與HMI基于MPI協議實現通信功能,採用WinCC flexible組態友好的控製界麵,完成數據輸入/輸齣、參數脩改、實時鑑控和報警聯鎖.該繫統縮短瞭控製迴路的調節時間,併減小超調量,提高瞭磁控濺射溫度控製的自動化水平、控製精度和穩定性.
자공천사온도공제계통적정도화운행은정성대침적결구은정화성능우량적박막재료겁위중요.본문이서문자S7-300가편정공제기(PLC)위공제핵심,통과촉모병구성인궤교환계면(HMI),논술료자공천사온도공제계통적성능특정여공제방법.이STEP 7위연건평태,확전PLC모의량수입모괴SM331대열전조표준모의신호실현A/D전환;재정시중단조직모괴(0B35)중순배조용온도공능괴(FB58)편정실현대온도적PID폐배공제;결합FB58집성적맥관조제수출공능,장PID운산결과전환성맥충점공비공제고태계전기집행.PLC여HMI기우MPI협의실현통신공능,채용WinCC flexible조태우호적공제계면,완성수거수입/수출、삼수수개、실시감공화보경련쇄.해계통축단료공제회로적조절시간,병감소초조량,제고료자공천사온도공제적자동화수평、공제정도화은정성.
