机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2014年
7期
131-133
,共3页
温湿度控制器%FILTER%CUP%Down Flow
溫濕度控製器%FILTER%CUP%Down Flow
온습도공제기%FILTER%CUP%Down Flow
匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成Down Flow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染.由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态.文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期.
勻膠顯影設備中溫濕度控製器(THS)為單元提供溫度和濕度適宜的潔淨空氣,為保證單元內產生的顆粒不汙染晶片,在單元中將空氣流動設計成Down Flow形式,這樣能帶走單元腔室中的灰塵顆粒,有利于防止晶片的顆粒汙染.由于顯影單元的內部結構複雜,無法直接測量單元內部實際工作條件下的氣流狀態.文中採用數值模擬分析的方法對顯影單元內部進行流場倣真分析,根據分析結果對結構進行優化,以達到更理想的腔室內氣體流動狀態,可以節約脩改結構和複雜測試所消耗的時間和成本,縮短設計週期.
균효현영설비중온습도공제기(THS)위단원제공온도화습도괄의적길정공기,위보증단원내산생적과립불오염정편,재단원중장공기류동설계성Down Flow형식,저양능대주단원강실중적회진과립,유리우방지정편적과립오염.유우현영단원적내부결구복잡,무법직접측량단원내부실제공작조건하적기류상태.문중채용수치모의분석적방법대현영단원내부진행류장방진분석,근거분석결과대결구진행우화,이체도경이상적강실내기체류동상태,가이절약수개결구화복잡측시소소모적시간화성본,축단설계주기.
