真空
真空
진공
VACUUM
2013年
6期
7-10
,共4页
魏永强%文振华%蒋志强%田修波
魏永彊%文振華%蔣誌彊%田脩波
위영강%문진화%장지강%전수파
电弧离子镀%薄膜%大颗粒%分布状态
電弧離子鍍%薄膜%大顆粒%分佈狀態
전호리자도%박막%대과립%분포상태
arc ion plating%film%macroparticles%distribution
针对电弧离子镀制备薄膜产生的大颗粒问题,本文主要研究了大颗粒在薄膜中的分布状态.根据大颗粒尺寸和薄膜厚度之间的比例关系,将其划分为三种类型:表面缺位型、镶嵌型和完全贯穿型,其中镶嵌型又划分为表面镶嵌型、中间镶嵌型、镶嵌生长型和重叠镶嵌型等四种类型,并对其形成原因分别进行了分析.
針對電弧離子鍍製備薄膜產生的大顆粒問題,本文主要研究瞭大顆粒在薄膜中的分佈狀態.根據大顆粒呎吋和薄膜厚度之間的比例關繫,將其劃分為三種類型:錶麵缺位型、鑲嵌型和完全貫穿型,其中鑲嵌型又劃分為錶麵鑲嵌型、中間鑲嵌型、鑲嵌生長型和重疊鑲嵌型等四種類型,併對其形成原因分彆進行瞭分析.
침대전호리자도제비박막산생적대과립문제,본문주요연구료대과립재박막중적분포상태.근거대과립척촌화박막후도지간적비례관계,장기화분위삼충류형:표면결위형、양감형화완전관천형,기중양감형우화분위표면양감형、중간양감형、양감생장형화중첩양감형등사충류형,병대기형성원인분별진행료분석.
