基于LabVIEW的微纳加工系统设计与研究
기우LabVIEW적미납가공계통설계여연구
Design and Research on the LabVIEW-Based Micro-nanofabrication System
  • 万方数据
    机电一体化 궤전일체화
    MECHATRONICS
    2014年 4期 28-32,44 ,共6页

    赵相晖%赖磊捷%朱利民

    조상휘%뢰뢰첩%주이민

    电化学湿印章%微纳米加工系统%LabVIEW%约束刻蚀剂层 電化學濕印章%微納米加工繫統%LabVIEW%約束刻蝕劑層
    전화학습인장%미납미가공계통%LabVIEW%약속각식제층
    electrochemical wet stamping%micro-nanofabrication%LabVIEW%confined etchant layer
    根据约束刻蚀加工工艺原理要求,开发了基于LabVIEW软件的微纳米加工系统.系统主要由宏动定位平台、微动定位平台、微力传感器、电化学工作站以及控制系统组成.系统通过数据采集卡和运动控制卡来实现仪器的定位与运动控制,对接触检测和主动恒力控制等关键技术进行了重点研究,使用LabVIEW编写了运动控制软件,最后在此系统上开展了光学微透镜阵列的电化学湿印章刻蚀加工试验.实验结果表明该工艺成功地把模板上的微透镜阵列图案复制到了硅基底上,具有较高的复制精度.
    근거약속각식가공공예원리요구,개발료기우LabVIEW연건적미납미가공계통.계통주요유굉동정위평태、미동정위평태、미력전감기、전화학공작참이급공제계통조성.계통통과수거채집잡화운동공제잡래실현의기적정위여운동공제,대접촉검측화주동항력공제등관건기술진행료중점연구,사용LabVIEW편사료운동공제연건,최후재차계통상개전료광학미투경진렬적전화학습인장각식가공시험.실험결과표명해공예성공지파모판상적미투경진렬도안복제도료규기저상,구유교고적복제정도.
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