Low-K介质与Cu互连技术在新型布线系统中的应用前景
Low-K개질여Cu호련기술재신형포선계통중적응용전경
Prospect on the Application of Low-K and Cu Interconnect Technology in New Routing System
  • 万方数据
    科技创新导报 과기창신도보
    SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
    2013年 12期 119-120 ,共2页

    张华健

    장화건

    ULSI%Low-K介质%Cu互连 ULSI%Low-K介質%Cu互連
    ULSI%Low-K개질%Cu호련
    集成电路(IC)的快速发展对ULSI布线系统提出了更高的要求.本文通过对ULSI互连布线系统的分析,在介绍了ULSI新型布线系统的同时,尝试预测互连技术的趋势走向,同时展望Low-K介质与Cu互连技术在新型布线系统中的应用前景.
    집성전로(IC)적쾌속발전대ULSI포선계통제출료경고적요구.본문통과대ULSI호련포선계통적분석,재개소료ULSI신형포선계통적동시,상시예측호련기술적추세주향,동시전망Low-K개질여Cu호련기술재신형포선계통중적응용전경.
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