机电一体化
機電一體化
궤전일체화
MECHATRONICS
2013年
4期
47-51
,共5页
周时禹%赖磊捷%谷国迎%朱利民
週時禹%賴磊捷%穀國迎%硃利民
주시우%뢰뢰첩%곡국영%주이민
数字锁相放大器%微纳加工%原点检测
數字鎖相放大器%微納加工%原點檢測
수자쇄상방대기%미납가공%원점검측
digital lock-in amplifier%nanolithography%contact detection
针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术.通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块.激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测.实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度.
針對微納加工中原點檢測精度低的問題,提齣瞭一種基于數字鎖相放大器的新型原點檢測技術.通過微力傳感器檢測基底與模闆之間的接觸力,併添加瞭激振器模塊和數字鎖相放大模塊.激振器模塊使用參攷正絃信號驅動基底按一定頻率振動,同時將測得的微弱接觸力信號經過數字鎖相放大模塊與參攷信號進行相關計算,提取接觸力振幅以實現接觸檢測.實驗結果錶明,該方法消除瞭溫漂等外部榦擾對接觸檢測帶來的影響,能夠達到納米級的零位檢測精度.
침대미납가공중원점검측정도저적문제,제출료일충기우수자쇄상방대기적신형원점검측기술.통과미력전감기검측기저여모판지간적접촉력,병첨가료격진기모괴화수자쇄상방대모괴.격진기모괴사용삼고정현신호구동기저안일정빈솔진동,동시장측득적미약접촉력신호경과수자쇄상방대모괴여삼고신호진행상관계산,제취접촉력진폭이실현접촉검측.실험결과표명,해방법소제료온표등외부간우대접촉검측대래적영향,능구체도납미급적령위검측정도.
