西安理工大学学报
西安理工大學學報
서안리공대학학보
JOURNAL OF XI'AN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2013年
2期
216-220
,共5页
陈桂涛%孙天乐%孙强%钟彦儒
陳桂濤%孫天樂%孫彊%鐘彥儒
진계도%손천악%손강%종언유
脉冲电源%非对称%磁控溅射%高自由度
脈遲電源%非對稱%磁控濺射%高自由度
맥충전원%비대칭%자공천사%고자유도
pulse power%asymmetric%magnetron sputtering%high degree of freedom
研究了基于FPGA的非对称双极脉冲电源,解决了磁控溅射工艺中遇到的共性问题,同时获得了优异的膜层性能和更宽的工艺范围.可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节.最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器.采用Altera 公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作为数字处理器实现了电源的数字控制,同时对后级脉冲变换环节实现高自由度控制,通过实验结果分析进一步验证了设计的可行性.
研究瞭基于FPGA的非對稱雙極脈遲電源,解決瞭磁控濺射工藝中遇到的共性問題,同時穫得瞭優異的膜層性能和更寬的工藝範圍.可以根據磁控濺射電源工藝需求對雙嚮脈遲參數包括脈遲幅值、頻率、佔空比,以及正負嚮箇數和正嚮脈遲與負嚮脈遲之間的換嚮時間等自由調節.最後設計瞭一箇6 kW/100 kHz樣機,前級採用兩箇獨立的DC/DC變換器作為直流源,後級為一箇非對稱脈遲髮生器.採用Altera 公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作為數字處理器實現瞭電源的數字控製,同時對後級脈遲變換環節實現高自由度控製,通過實驗結果分析進一步驗證瞭設計的可行性.
연구료기우FPGA적비대칭쌍겁맥충전원,해결료자공천사공예중우도적공성문제,동시획득료우이적막층성능화경관적공예범위.가이근거자공천사전원공예수구대쌍향맥충삼수포괄맥충폭치、빈솔、점공비,이급정부향개수화정향맥충여부향맥충지간적환향시간등자유조절.최후설계료일개6 kW/100 kHz양궤,전급채용량개독립적DC/DC변환기작위직류원,후급위일개비대칭맥충발생기.채용Altera 공사적FPGA(EP3C25Q240C8)작위수자처리기실현료전원적수자공제,동시대후급맥충변환배절실현고자유도공제,통과실험결과분석진일보험증료설계적가행성.
