西安理工大学学报
西安理工大學學報
서안리공대학학보
JOURNAL OF XI'AN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2013年
2期
192-196
,共5页
四象限探测器%输出自激%反型%失效分析
四象限探測器%輸齣自激%反型%失效分析
사상한탐측기%수출자격%반형%실효분석
four-quadrant photoelectric detector%output self-excitation%inversion%failure analysis
针对某型激光导引头所用的四象限光电探测器高温环境试验过程中出现的输出自激失效现象,确定了失效物理模型和失效模式,搭建了失效现象复现测试电路,通过半破坏性开封、光学镜检和波谱分析,提出探测器光敏面沟阻隔离区在工艺过程受离子污染,使沟阻隔离区反型是导致四象限光电探测器输出自激的根本原因.根据光电探测器光敏面隔离区表面反型产生输出自激的失效机理,针对电极膜真空蒸镀工艺引入有害离子的具体原因,对电极膜制作工艺路线进行了改进.经 生产实践证明,改进后的工艺方法可有效消除该类失效模式的产生.
針對某型激光導引頭所用的四象限光電探測器高溫環境試驗過程中齣現的輸齣自激失效現象,確定瞭失效物理模型和失效模式,搭建瞭失效現象複現測試電路,通過半破壞性開封、光學鏡檢和波譜分析,提齣探測器光敏麵溝阻隔離區在工藝過程受離子汙染,使溝阻隔離區反型是導緻四象限光電探測器輸齣自激的根本原因.根據光電探測器光敏麵隔離區錶麵反型產生輸齣自激的失效機理,針對電極膜真空蒸鍍工藝引入有害離子的具體原因,對電極膜製作工藝路線進行瞭改進.經 生產實踐證明,改進後的工藝方法可有效消除該類失效模式的產生.
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