传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
4期
509-515
,共7页
电场传感器%自激振荡%品质因数%平均周期法
電場傳感器%自激振盪%品質因數%平均週期法
전장전감기%자격진탕%품질인수%평균주기법
electric field micro-sensor%self-oscillation%Q-factor%averaging method
针对微机械电场传感器高真空金属封装中存在的电荷累积问题,根据传感器的静电驱动力原理,提出了利用屏蔽层活动结构的振动速度反馈信号结合差分梳齿来调节品质因数的方法.鉴于系统的高阶非线性,利用平均周期法分析了常压封装下自激驱动系统的起振条件和稳态振幅.理论和仿真分析表明,该方法是可行的.直流参考电压VR越大,反馈等效品质因数Q1越小,稳态振幅越大,起振稳定时间越短.时间常数τ越小,越利于抑制幅度的过冲.
針對微機械電場傳感器高真空金屬封裝中存在的電荷纍積問題,根據傳感器的靜電驅動力原理,提齣瞭利用屏蔽層活動結構的振動速度反饋信號結閤差分梳齒來調節品質因數的方法.鑒于繫統的高階非線性,利用平均週期法分析瞭常壓封裝下自激驅動繫統的起振條件和穩態振幅.理論和倣真分析錶明,該方法是可行的.直流參攷電壓VR越大,反饋等效品質因數Q1越小,穩態振幅越大,起振穩定時間越短.時間常數τ越小,越利于抑製幅度的過遲.
침대미궤계전장전감기고진공금속봉장중존재적전하루적문제,근거전감기적정전구동력원리,제출료이용병폐층활동결구적진동속도반궤신호결합차분소치래조절품질인수적방법.감우계통적고계비선성,이용평균주기법분석료상압봉장하자격구동계통적기진조건화은태진폭.이론화방진분석표명,해방법시가행적.직류삼고전압VR월대,반궤등효품질인수Q1월소,은태진폭월대,기진은정시간월단.시간상수τ월소,월리우억제폭도적과충.
