传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
4期
498-501
,共4页
康昊%谭秋林%秦丽%李晨%丁利琼%张献生
康昊%譚鞦林%秦麗%李晨%丁利瓊%張獻生
강호%담추림%진려%리신%정리경%장헌생
无线无源传感器%压力传感器%互感耦合%LTCC%谐振频率
無線無源傳感器%壓力傳感器%互感耦閤%LTCC%諧振頻率
무선무원전감기%압력전감기%호감우합%LTCC%해진빈솔
wireless passive sensor%pressure sensor%mutual inductance coupling%LTCC%resonance frequency
设计了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器,利用传感器谐振频率对不同应变的响应来表征传感器的应变特性,采用互感耦合的方式对传感器的谐振频率进行读取.搭建了压力测试平台,通过对天线特征参数的测试获取传感器的谐振频率,测试结果表明,基于LTCC的无线无源压力传感器的谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,灵敏度约为543.12 kHz/bar.
設計瞭一種基于低溫共燒陶瓷(LTCC)的無線無源壓力傳感器,利用傳感器諧振頻率對不同應變的響應來錶徵傳感器的應變特性,採用互感耦閤的方式對傳感器的諧振頻率進行讀取.搭建瞭壓力測試平檯,通過對天線特徵參數的測試穫取傳感器的諧振頻率,測試結果錶明,基于LTCC的無線無源壓力傳感器的諧振頻率隨外界壓力的增大而減小,諧振頻率隨壓力的變化近似于線性變化,靈敏度約為543.12 kHz/bar.
설계료일충기우저온공소도자(LTCC)적무선무원압력전감기,이용전감기해진빈솔대불동응변적향응래표정전감기적응변특성,채용호감우합적방식대전감기적해진빈솔진행독취.탑건료압력측시평태,통과대천선특정삼수적측시획취전감기적해진빈솔,측시결과표명,기우LTCC적무선무원압력전감기적해진빈솔수외계압력적증대이감소,해진빈솔수압력적변화근사우선성변화,령민도약위543.12 kHz/bar.
