传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
4期
467-470
,共4页
詹昌华%潘元志%赵小林%侯中宇
詹昌華%潘元誌%趙小林%侯中宇
첨창화%반원지%조소림%후중우
微机电系统%一维纳电极阵%电离式气体传感器%气体电导率
微機電繫統%一維納電極陣%電離式氣體傳感器%氣體電導率
미궤전계통%일유납전겁진%전리식기체전감기%기체전도솔
MEMS%one-dimensional nano electrode array%ionization gas sensor%gas conductivity
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器.该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性.该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性.
實現瞭一種新型的電離式MEMS氣體傳感器,即線性阻抗電離式MEMS氣體傳感器.該傳感器創新地採用瞭電導率而不是常用的擊穿電壓來檢測不同的氣體成分,這樣可以避免高電壓對器件的影響,提高器件工作狀態的可重複性和穩定性.該器件在低壓條件下不同氣體組分中進行氣體放電實驗,測齣瞭不同的伏安特性麯線和電導率值,從而證實瞭該器件的氣體傳感特性.
실현료일충신형적전리식MEMS기체전감기,즉선성조항전리식MEMS기체전감기.해전감기창신지채용료전도솔이불시상용적격천전압래검측불동적기체성분,저양가이피면고전압대기건적영향,제고기건공작상태적가중복성화은정성.해기건재저압조건하불동기체조분중진행기체방전실험,측출료불동적복안특성곡선화전도솔치,종이증실료해기건적기체전감특성.
