传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
4期
462-466
,共5页
姑丽各娜·买买提依明%阿布力孜·伊米提
姑麗各娜·買買提依明%阿佈力孜·伊米提
고려각나·매매제의명%아포력자·이미제
气体传感器1%玻璃光波导2%溶胶凝胶法3%Fe2O3-In2O3复合薄膜4%二甲苯5
氣體傳感器1%玻璃光波導2%溶膠凝膠法3%Fe2O3-In2O3複閤薄膜4%二甲苯5
기체전감기1%파리광파도2%용효응효법3%Fe2O3-In2O3복합박막4%이갑분5
gas sensor 1%glass optical waveguide 2%Sol-Gel method 3%Fe2O3-In2O3 composite film 4%xylene 5
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件.将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测.实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1 ×10-3 ～1 ×10-5(V/V).在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s.Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点.
採用溶膠-凝膠法(sol-gel)製備齣氧化鐵-氧化銦複閤材料,利用提拉法將複閤材料固定在錫摻雜玻璃光波導錶麵研究齣能夠檢測二甲苯氣體的Fe2O3-In2O3複閤薄膜/錫摻雜玻璃光波導氣敏元件.將氣敏元件固定在氣體檢測繫統中對揮髮性有機氣體進行檢測.實驗結果錶明,Fe2O3-In2O3複閤薄膜/錫摻雜玻璃光波導氣敏元件對二甲苯氣體具有較好的響應,其響應濃度範圍為1 ×10-3 ～1 ×10-5(V/V).在常溫下該敏感元件對于濃度為1×10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比較明顯響應,其響應和恢複時間分彆為5s和20s.Fe2O3-In2O3複閤薄膜/錫摻雜玻璃光波導氣敏元件具有靈敏度高、響應速度快、製作工藝簡單和可逆性好等特點.
채용용효-응효법(sol-gel)제비출양화철-양화인복합재료,이용제랍법장복합재료고정재석참잡파리광파도표면연구출능구검측이갑분기체적Fe2O3-In2O3복합박막/석참잡파리광파도기민원건.장기민원건고정재기체검측계통중대휘발성유궤기체진행검측.실험결과표명,Fe2O3-In2O3복합박막/석참잡파리광파도기민원건대이갑분기체구유교호적향응,기향응농도범위위1 ×10-3 ～1 ×10-5(V/V).재상온하해민감원건대우농도위1×10-5(V/V)적이갑분증기유비교명현향응,기향응화회복시간분별위5s화20s.Fe2O3-In2O3복합박막/석참잡파리광파도기민원건구유령민도고、향응속도쾌、제작공예간단화가역성호등특점.
