内江科技
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내강과기
NEI JIANG KE JI
2013年
5期
49,25
,共2页
李志强%张栋%曹晓彦%孙骏%陈曦
李誌彊%張棟%曹曉彥%孫駿%陳晞
리지강%장동%조효언%손준%진희
单晶硅%电镀金刚石线锯%试验研究
單晶硅%電鍍金剛石線鋸%試驗研究
단정규%전도금강석선거%시험연구
本文利用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了切割试验,研究了铅丝运动速度、工件进给力对材料加工质量、加工效率、锯切力的影响.研究发现,单晶硅加工表面存在划痕和凹坑,材料为脆性去除.加工效率随锯丝运动速度、工件进给力的增大而提高.锯丝运动速度增加,锯切力减小;工件进给力增大,锯切力也增加.最后通过正交实验对工艺参数进行了优化.
本文利用電鍍金剛石線鋸對單晶硅進行瞭切割試驗,研究瞭鉛絲運動速度、工件進給力對材料加工質量、加工效率、鋸切力的影響.研究髮現,單晶硅加工錶麵存在劃痕和凹坑,材料為脆性去除.加工效率隨鋸絲運動速度、工件進給力的增大而提高.鋸絲運動速度增加,鋸切力減小;工件進給力增大,鋸切力也增加.最後通過正交實驗對工藝參數進行瞭優化.
본문이용전도금강석선거대단정규진행료절할시험,연구료연사운동속도、공건진급력대재료가공질량、가공효솔、거절력적영향.연구발현,단정규가공표면존재화흔화요갱,재료위취성거제.가공효솔수거사운동속도、공건진급력적증대이제고.거사운동속도증가,거절력감소;공건진급력증대,거절력야증가.최후통과정교실험대공예삼수진행료우화.
