发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
6期
711-715
,共5页
李彤%介琼%张宇%倪晓昌%赵新为
李彤%介瓊%張宇%倪曉昌%趙新為
리동%개경%장우%예효창%조신위
ZnO∶Mn%拉曼%稀磁半导体
ZnO∶Mn%拉曼%稀磁半導體
ZnO∶Mn%랍만%희자반도체
ZnO∶ Mn%Raman%diluted magnetic semiconductors
利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积了一系列ZnO∶ Mn薄膜,结合Raman光谱、XRD衍射谱和SEM分析了工作气压对ZnO∶ Mn薄膜结构特性的影响.Raman拟合光谱显示,在工作气压从1Pa增加至4Pa的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构.但是,随着气压的降低,对应于E2(High)振动模式的Raman散射峰以及与Mn掺杂相关的特征峰左移,说明在低工作气压时,ZnO∶ Mn薄膜内晶格缺陷更多,晶格更加无序.这一结论也得到了XRD和SEM结果的证实.
利用射頻磁控濺射方法在玻璃襯底上沉積瞭一繫列ZnO∶ Mn薄膜,結閤Raman光譜、XRD衍射譜和SEM分析瞭工作氣壓對ZnO∶ Mn薄膜結構特性的影響.Raman擬閤光譜顯示,在工作氣壓從1Pa增加至4Pa的過程中,ZnO∶ Mn薄膜始終保持著六角纖鋅礦結構.但是,隨著氣壓的降低,對應于E2(High)振動模式的Raman散射峰以及與Mn摻雜相關的特徵峰左移,說明在低工作氣壓時,ZnO∶ Mn薄膜內晶格缺陷更多,晶格更加無序.這一結論也得到瞭XRD和SEM結果的證實.
이용사빈자공천사방법재파리츤저상침적료일계렬ZnO∶ Mn박막,결합Raman광보、XRD연사보화SEM분석료공작기압대ZnO∶ Mn박막결구특성적영향.Raman의합광보현시,재공작기압종1Pa증가지4Pa적과정중,ZnO∶ Mn박막시종보지착륙각섬자광결구.단시,수착기압적강저,대응우E2(High)진동모식적Raman산사봉이급여Mn참잡상관적특정봉좌이,설명재저공작기압시,ZnO∶ Mn박막내정격결함경다,정격경가무서.저일결론야득도료XRD화SEM결과적증실.
