功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
z1期
67-70
,共4页
孙莉%范红玉%李梦轲%刘东平%杨德明%杨杞%牛金海
孫莉%範紅玉%李夢軻%劉東平%楊德明%楊杞%牛金海
손리%범홍옥%리몽가%류동평%양덕명%양기%우금해
非晶碳氢薄膜%辐照%硬度%纳米压痕
非晶碳氫薄膜%輻照%硬度%納米壓痕
비정탄경박막%복조%경도%납미압흔
amorphous hydrocarbon film%irradiation damage%hardness%nano indentation
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜.采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017 ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验.通过基于原子力显微镜(AFM)的纳米压痕和纳米划痕技术,对He+辐照前后碳氢薄膜的表面硬度进行分析.结果表明,经He+辐照后碳氢薄膜的表面硬度明显增加,并且随着He+辐照剂量增加,碳氢薄膜的表面硬度呈逐渐增加的趋势.傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和拉曼光谱分析表明,He+辐照会导致碳氢薄膜中sp2C键含量明显增加,而sp3C键及H原子的含量明显降低,这可能是引起碳氢薄膜硬度变化的主要原因.
在室溫下,利用等離子體增彊的化學氣相沉積法(PECVD)在硅襯底上製備瞭非晶碳氫薄膜.採用100keV,劑量分彆為1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017 ions/cm2的He離子(He+)對非晶碳氫薄膜進行輻照實驗.通過基于原子力顯微鏡(AFM)的納米壓痕和納米劃痕技術,對He+輻照前後碳氫薄膜的錶麵硬度進行分析.結果錶明,經He+輻照後碳氫薄膜的錶麵硬度明顯增加,併且隨著He+輻照劑量增加,碳氫薄膜的錶麵硬度呈逐漸增加的趨勢.傅裏葉變換紅外光譜(FT-IR)和拉曼光譜分析錶明,He+輻照會導緻碳氫薄膜中sp2C鍵含量明顯增加,而sp3C鍵及H原子的含量明顯降低,這可能是引起碳氫薄膜硬度變化的主要原因.
재실온하,이용등리자체증강적화학기상침적법(PECVD)재규츤저상제비료비정탄경박막.채용100keV,제량분별위1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016화1.0×1017 ions/cm2적He리자(He+)대비정탄경박막진행복조실험.통과기우원자력현미경(AFM)적납미압흔화납미화흔기술,대He+복조전후탄경박막적표면경도진행분석.결과표명,경He+복조후탄경박막적표면경도명현증가,병차수착He+복조제량증가,탄경박막적표면경도정축점증가적추세.부리협변환홍외광보(FT-IR)화랍만광보분석표명,He+복조회도치탄경박막중sp2C건함량명현증가,이sp3C건급H원자적함량명현강저,저가능시인기탄경박막경도변화적주요원인.
