有色金属（冶炼部分）
有色金屬（冶煉部分）
유색금속（야련부분）
NONFERROUS METALS(EXTRACTIVE METALLURGY)
2013年
11期
46-49
,共4页
LaNiO3%薄膜%退火温度%显微组织%电阻率
LaNiO3%薄膜%退火溫度%顯微組織%電阻率
LaNiO3%박막%퇴화온도%현미조직%전조솔
LaNiO3%film%annealing temperature%resistivity
采用射频磁控溅射法在Si(111)上制备出LaNiO3薄膜,并通过XRD、SEM等进行表征.结果表明,LaNiO3薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向,在空气中随着退火温度的增加,结晶性更好,出现钙钛矿型结构;900℃退火时出现杂相,LaNiO3发生分解导致薄膜表面形貌发生巨大变化.电阻率与结构中的氧空位有密切联系,退火温度增加,氧空位减少,电阻率减小.在700℃退火时可以得到1.59 Ω·cm的最小电阻率.
採用射頻磁控濺射法在Si(111)上製備齣LaNiO3薄膜,併通過XRD、SEM等進行錶徵.結果錶明,LaNiO3薄膜在未退火狀態下齣現一定的擇優取嚮,在空氣中隨著退火溫度的增加,結晶性更好,齣現鈣鈦礦型結構;900℃退火時齣現雜相,LaNiO3髮生分解導緻薄膜錶麵形貌髮生巨大變化.電阻率與結構中的氧空位有密切聯繫,退火溫度增加,氧空位減少,電阻率減小.在700℃退火時可以得到1.59 Ω·cm的最小電阻率.
채용사빈자공천사법재Si(111)상제비출LaNiO3박막,병통과XRD、SEM등진행표정.결과표명,LaNiO3박막재미퇴화상태하출현일정적택우취향,재공기중수착퇴화온도적증가,결정성경호,출현개태광형결구;900℃퇴화시출현잡상,LaNiO3발생분해도치박막표면형모발생거대변화.전조솔여결구중적양공위유밀절련계,퇴화온도증가,양공위감소,전조솔감소.재700℃퇴화시가이득도1.59 Ω·cm적최소전조솔.
