粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
POWDER METALLURGY MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2013年
4期
539-545
,共7页
翟豪%龙芬%余志明%王健
翟豪%龍芬%餘誌明%王健
적호%룡분%여지명%왕건
钼%氢气气氛退火%氧化性酸处理%化学气相沉积
鉬%氫氣氣氛退火%氧化性痠處理%化學氣相沉積
목%경기기분퇴화%양화성산처리%화학기상침적
以H2和CH4为反应气源,采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,缩写HFCVD),于不同温度下,在金属Mo表面上制备金刚石薄膜,并分别对薄膜进行退火和氧化性酸处理.采用场发射扫描电镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)及物相分析(XRD),研究沉积温度与后处理工艺对薄膜质量和薄膜表面内应力的影响.结果表明,在700℃下沉积的薄膜晶型良好,晶粒尺寸大且均匀,平均粒径为0.5 μm,薄膜中存在2.72 GPa的压应力；该薄膜在氢气气氛中退火后质量得到提升,金刚石的Raman特征峰强与石墨的Raman特征峰强的比值从2.780 0上升至4.451 6,薄膜中无定型碳和石墨成分的总含量(质量分数)下降37.6％；采用过氧化氢氧化处理后,薄膜中无定型碳和石墨的总含量(质量分数)下降26.8％,薄膜中69.0％～73.0％(质量分数)的trans-PA被氧化处理掉,热应力得到释放.
以H2和CH4為反應氣源,採用熱絲化學氣相沉積法(hot filament chemical vapor deposition,縮寫HFCVD),于不同溫度下,在金屬Mo錶麵上製備金剛石薄膜,併分彆對薄膜進行退火和氧化性痠處理.採用場髮射掃描電鏡(FESEM)、拉曼光譜(Raman)及物相分析(XRD),研究沉積溫度與後處理工藝對薄膜質量和薄膜錶麵內應力的影響.結果錶明,在700℃下沉積的薄膜晶型良好,晶粒呎吋大且均勻,平均粒徑為0.5 μm,薄膜中存在2.72 GPa的壓應力；該薄膜在氫氣氣氛中退火後質量得到提升,金剛石的Raman特徵峰彊與石墨的Raman特徵峰彊的比值從2.780 0上升至4.451 6,薄膜中無定型碳和石墨成分的總含量(質量分數)下降37.6％；採用過氧化氫氧化處理後,薄膜中無定型碳和石墨的總含量(質量分數)下降26.8％,薄膜中69.0％～73.0％(質量分數)的trans-PA被氧化處理掉,熱應力得到釋放.
이H2화CH4위반응기원,채용열사화학기상침적법(hot filament chemical vapor deposition,축사HFCVD),우불동온도하,재금속Mo표면상제비금강석박막,병분별대박막진행퇴화화양화성산처리.채용장발사소묘전경(FESEM)、랍만광보(Raman)급물상분석(XRD),연구침적온도여후처리공예대박막질량화박막표면내응력적영향.결과표명,재700℃하침적적박막정형량호,정립척촌대차균균,평균립경위0.5 μm,박막중존재2.72 GPa적압응력；해박막재경기기분중퇴화후질량득도제승,금강석적Raman특정봉강여석묵적Raman특정봉강적비치종2.780 0상승지4.451 6,박막중무정형탄화석묵성분적총함량(질량분수)하강37.6％；채용과양화경양화처리후,박막중무정형탄화석묵적총함량(질량분수)하강26.8％,박막중69.0％～73.0％(질량분수)적trans-PA피양화처리도,열응력득도석방.
