固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2013年
5期
462-465
,共4页
邹鹏辉%陈舒恬%高建峰%耿涛
鄒鵬輝%陳舒恬%高建峰%耿濤
추붕휘%진서념%고건봉%경도
电子束蒸发%蒸发速率%金膜
電子束蒸髮%蒸髮速率%金膜
전자속증발%증발속솔%금막
electron beam evaporation deposition%evaporation rate%Au film
在不同的蒸发速率下沉积300 nm的Au薄膜,研究蒸发速率对薄膜表面形貌和性能的影响.随着蒸发速率的提高,薄膜的结构变得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度减小.金薄膜方阻随着蒸发速率提高无明显变化,而方阻均匀性变差,但在可接受的范围内.但蒸发速率过高会引起金属大颗粒增多.因此,选用适合的蒸发速率对Au膜质量有很大影响.文中的初步结果可对改善电容特性和提升器件性能提供参考.
在不同的蒸髮速率下沉積300 nm的Au薄膜,研究蒸髮速率對薄膜錶麵形貌和性能的影響.隨著蒸髮速率的提高,薄膜的結構變得緻密,晶粒呎吋和錶麵粗糙度減小.金薄膜方阻隨著蒸髮速率提高無明顯變化,而方阻均勻性變差,但在可接受的範圍內.但蒸髮速率過高會引起金屬大顆粒增多.因此,選用適閤的蒸髮速率對Au膜質量有很大影響.文中的初步結果可對改善電容特性和提升器件性能提供參攷.
재불동적증발속솔하침적300 nm적Au박막,연구증발속솔대박막표면형모화성능적영향.수착증발속솔적제고,박막적결구변득치밀,정립척촌화표면조조도감소.금박막방조수착증발속솔제고무명현변화,이방조균균성변차,단재가접수적범위내.단증발속솔과고회인기금속대과립증다.인차,선용괄합적증발속솔대Au막질량유흔대영향.문중적초보결과가대개선전용특성화제승기건성능제공삼고.
