固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2013年
5期
410-414
,共5页
臧源%李连碧%林生晃%曹琳
臧源%李連碧%林生晃%曹琳
장원%리련벽%림생황%조림
6H-SiC%A1掺杂%铁磁性
6H-SiC%A1摻雜%鐵磁性
6H-SiC%A1참잡%철자성
6H-SiC%aluminum-doped%ferromagnetism
使用物理气象沉积法生长了轻Al掺杂6H-SiC样品,并使用超导量子干涉磁强计(SQUID)对无腐蚀及腐蚀后的样品进行了测试,发现了腐蚀后的样品在室温下表现出铁磁性.经过计算,样品磁信号并非来源于腐蚀剂KOH及K2CO3.同时腐蚀后的样品形貌表明杂质聚集在腐蚀后的缺陷附近从而形成了一定的铁磁性,因此缺陷被腐蚀放大是样品形成铁磁性的主要原因.
使用物理氣象沉積法生長瞭輕Al摻雜6H-SiC樣品,併使用超導量子榦涉磁彊計(SQUID)對無腐蝕及腐蝕後的樣品進行瞭測試,髮現瞭腐蝕後的樣品在室溫下錶現齣鐵磁性.經過計算,樣品磁信號併非來源于腐蝕劑KOH及K2CO3.同時腐蝕後的樣品形貌錶明雜質聚集在腐蝕後的缺陷附近從而形成瞭一定的鐵磁性,因此缺陷被腐蝕放大是樣品形成鐵磁性的主要原因.
사용물리기상침적법생장료경Al참잡6H-SiC양품,병사용초도양자간섭자강계(SQUID)대무부식급부식후적양품진행료측시,발현료부식후적양품재실온하표현출철자성.경과계산,양품자신호병비래원우부식제KOH급K2CO3.동시부식후적양품형모표명잡질취집재부식후적결함부근종이형성료일정적철자성,인차결함피부식방대시양품형성철자성적주요원인.
