中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
11期
1489-1493
,共5页
阿达玛变换光谱仪%微光机电系统%可动光栅光开关阵列%误差补偿算法
阿達瑪變換光譜儀%微光機電繫統%可動光柵光開關陣列%誤差補償算法
아체마변환광보의%미광궤전계통%가동광책광개관진렬%오차보상산법
Hadamard transform spectrometer%micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS)%line array of grating moving light modulators%error compensation algorithm
根据微弱光谱信号的快速检测原理,构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS(微光机电系统)可动光栅光开关阵列.对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析,设计了以AI膜为主的表面微加工工艺流程,制作出MOEMS可动光栅光开关阵列.实验测试结果表明,可动光栅光开关阵列可以在低至8.1V的电压下进行光调制,开关频率达到140Hz,完全可以满足阿达玛变换光谱仪调制速度快、光谱范围宽、机械磨损小和误差小等要求.
根據微弱光譜信號的快速檢測原理,構建瞭一種適用于阿達瑪變換光譜儀的MOEMS(微光機電繫統)可動光柵光開關陣列.對一種適用于補償光柵光調製器件加工誤差的阿達瑪變換算法進行瞭分析,設計瞭以AI膜為主的錶麵微加工工藝流程,製作齣MOEMS可動光柵光開關陣列.實驗測試結果錶明,可動光柵光開關陣列可以在低至8.1V的電壓下進行光調製,開關頻率達到140Hz,完全可以滿足阿達瑪變換光譜儀調製速度快、光譜範圍寬、機械磨損小和誤差小等要求.
근거미약광보신호적쾌속검측원리,구건료일충괄용우아체마변환광보의적MOEMS(미광궤전계통)가동광책광개관진렬.대일충괄용우보상광책광조제기건가공오차적아체마변환산법진행료분석,설계료이AI막위주적표면미가공공예류정,제작출MOEMS가동광책광개관진렬.실험측시결과표명,가동광책광개관진렬가이재저지8.1V적전압하진행광조제,개관빈솔체도140Hz,완전가이만족아체마변환광보의조제속도쾌、광보범위관、궤계마손소화오차소등요구.
