液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2013年
5期
720-725
,共6页
李田生%谢振宇%李婧%阎长江%徐少颖%陈旭%闵泰烨
李田生%謝振宇%李婧%閻長江%徐少穎%陳旭%閔泰燁
리전생%사진우%리청%염장강%서소영%진욱%민태엽
有源层%刻蚀%黑点
有源層%刻蝕%黑點
유원층%각식%흑점
active layer%etch%black hole
TFT-LCD产品为现代显示的主流,如何提高其显示品质成为大家普遍关注的问题,尤其近期发现的过孔发黑(黑点)问题尤为突出,严重影响了产品的良率,降低了产品的品质,文章通过研究发现产生黑点不良的罪魁祸首不是过孔刻蚀的问题,而是有源层刻蚀工艺所导致的,并有针对性地进行了试验设计,分别考察了有源层刻蚀条件、附加一步刻蚀方式对黑点不良的解决效果,根据实验效果附加一步刻蚀方式完美地解决了黑点不良问题,从而将产品的良率提升了3％～4％,而电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、迁移率)和正常条件相比没有异常,从而获得了最终完美的解决该不良的方案,提高了产品品质.
TFT-LCD產品為現代顯示的主流,如何提高其顯示品質成為大傢普遍關註的問題,尤其近期髮現的過孔髮黑(黑點)問題尤為突齣,嚴重影響瞭產品的良率,降低瞭產品的品質,文章通過研究髮現產生黑點不良的罪魁禍首不是過孔刻蝕的問題,而是有源層刻蝕工藝所導緻的,併有針對性地進行瞭試驗設計,分彆攷察瞭有源層刻蝕條件、附加一步刻蝕方式對黑點不良的解決效果,根據實驗效果附加一步刻蝕方式完美地解決瞭黑點不良問題,從而將產品的良率提升瞭3％～4％,而電學性能評價(Ion:開態電流、Ioff:關態電流、Vth:閾值電壓、遷移率)和正常條件相比沒有異常,從而穫得瞭最終完美的解決該不良的方案,提高瞭產品品質.
TFT-LCD산품위현대현시적주류,여하제고기현시품질성위대가보편관주적문제,우기근기발현적과공발흑(흑점)문제우위돌출,엄중영향료산품적량솔,강저료산품적품질,문장통과연구발현산생흑점불량적죄괴화수불시과공각식적문제,이시유원층각식공예소도치적,병유침대성지진행료시험설계,분별고찰료유원층각식조건、부가일보각식방식대흑점불량적해결효과,근거실험효과부가일보각식방식완미지해결료흑점불량문제,종이장산품적량솔제승료3％～4％,이전학성능평개(Ion:개태전류、Ioff:관태전류、Vth:역치전압、천이솔)화정상조건상비몰유이상,종이획득료최종완미적해결해불량적방안,제고료산품품질.
