液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2013年
5期
707-710
,共4页
王海成%董天松%郑英花%刘华
王海成%董天鬆%鄭英花%劉華
왕해성%동천송%정영화%류화
TFT-LCD%Zara点状不良%聚酰亚胺%摩擦
TFT-LCD%Zara點狀不良%聚酰亞胺%摩抆
TFT-LCD%Zara점상불량%취선아알%마찰
TFT-LCD%Zara particle%polyimide%rubbing
研究了TFT-LCD制造工艺中产生Zara Particle的影响因素.采用Mac/Mic,SEM,EDX等检测设备,对Zara点状不良进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,对其产生的原因提出了两种不同的理论观点.通过调整聚酰亚胺薄膜厚度和摩擦工艺参数等一系列措施,产品质量得到了很大的提高,Zara点状不良从改善前的21.2％降低到1.69％,大大提高了产品良率,为以后相关问题的研究奠定了一些理论基础.
研究瞭TFT-LCD製造工藝中產生Zara Particle的影響因素.採用Mac/Mic,SEM,EDX等檢測設備,對Zara點狀不良進行瞭大量的實驗測試、數據分析和理論研究工作,對其產生的原因提齣瞭兩種不同的理論觀點.通過調整聚酰亞胺薄膜厚度和摩抆工藝參數等一繫列措施,產品質量得到瞭很大的提高,Zara點狀不良從改善前的21.2％降低到1.69％,大大提高瞭產品良率,為以後相關問題的研究奠定瞭一些理論基礎.
연구료TFT-LCD제조공예중산생Zara Particle적영향인소.채용Mac/Mic,SEM,EDX등검측설비,대Zara점상불량진행료대량적실험측시、수거분석화이론연구공작,대기산생적원인제출료량충불동적이론관점.통과조정취선아알박막후도화마찰공예삼수등일계렬조시,산품질량득도료흔대적제고,Zara점상불량종개선전적21.2％강저도1.69％,대대제고료산품량솔,위이후상관문제적연구전정료일사이론기출.
