强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
10期
2517-2520
,共4页
李辉%曲轶%张剑家%辛德胜%刘国军
李輝%麯軼%張劍傢%辛德勝%劉國軍
리휘%곡질%장검가%신덕성%류국군
高功率%应变量子阱%隧道结%半导体激光器
高功率%應變量子阱%隧道結%半導體激光器
고공솔%응변양자정%수도결%반도체격광기
high power%strained quantum well%tunnel junction%semiconductor lasers
设计出了隧道结串联叠层半导体激光器结构,采用分子束外延进行激光器材料的外延生长,材料经过光刻、腐蚀、欧姆接触、解理、腔面镀高反射/减反射膜、焊装等工艺,制作成条宽200 μm、腔长800 μm的半导体激光器.两隧道结激光器在脉冲宽度100 ns,重复频率10 kHz,30 A工作电流下输出功率达到80 W,峰值发射波长为905.6 nm,器件的阈值电流为0.8A,水平和垂直方向的发散角分别为7.8°和25°.
設計齣瞭隧道結串聯疊層半導體激光器結構,採用分子束外延進行激光器材料的外延生長,材料經過光刻、腐蝕、歐姆接觸、解理、腔麵鍍高反射/減反射膜、銲裝等工藝,製作成條寬200 μm、腔長800 μm的半導體激光器.兩隧道結激光器在脈遲寬度100 ns,重複頻率10 kHz,30 A工作電流下輸齣功率達到80 W,峰值髮射波長為905.6 nm,器件的閾值電流為0.8A,水平和垂直方嚮的髮散角分彆為7.8°和25°.
설계출료수도결천련첩층반도체격광기결구,채용분자속외연진행격광기재료적외연생장,재료경과광각、부식、구모접촉、해리、강면도고반사/감반사막、한장등공예,제작성조관200 μm、강장800 μm적반도체격광기.량수도결격광기재맥충관도100 ns,중복빈솔10 kHz,30 A공작전류하수출공솔체도80 W,봉치발사파장위905.6 nm,기건적역치전류위0.8A,수평화수직방향적발산각분별위7.8°화25°.
