功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
15期
2268-2270,2275
,共4页
马明%高传玉%周明%李保家%李浩华
馬明%高傳玉%週明%李保傢%李浩華
마명%고전옥%주명%리보가%리호화
ZnO薄膜%退火温度%透光率%方块电阻
ZnO薄膜%退火溫度%透光率%方塊電阻
ZnO박막%퇴화온도%투광솔%방괴전조
ZnO thin films%annealing temperature%transmittance%sheet resistance
在室温下,采用直流磁控溅射法,以载玻片作为衬底,淀积出ZnO薄膜.在常压H2气氛中,以不同温度对样品进行退火处理.结果表明,在退火温度为500℃时,样品具有最佳综合光电性能,其在360～960nm波长范围内的平均透光率为76.35％,方块电阻为6.3kΩ/□.
在室溫下,採用直流磁控濺射法,以載玻片作為襯底,澱積齣ZnO薄膜.在常壓H2氣氛中,以不同溫度對樣品進行退火處理.結果錶明,在退火溫度為500℃時,樣品具有最佳綜閤光電性能,其在360～960nm波長範圍內的平均透光率為76.35％,方塊電阻為6.3kΩ/□.
재실온하,채용직류자공천사법,이재파편작위츤저,정적출ZnO박막.재상압H2기분중,이불동온도대양품진행퇴화처리.결과표명,재퇴화온도위500℃시,양품구유최가종합광전성능,기재360～960nm파장범위내적평균투광솔위76.35％,방괴전조위6.3kΩ/□.
