功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
15期
2138-2142
,共5页
王运飞%王岭%朱靖%戴磊%李跃华%周会珠%吴印林
王運飛%王嶺%硃靖%戴磊%李躍華%週會珠%吳印林
왕운비%왕령%주정%대뢰%리약화%주회주%오인림
溅射法%混合位型%NO2传感器%CuO纳米颗粒%YSZ
濺射法%混閤位型%NO2傳感器%CuO納米顆粒%YSZ
천사법%혼합위형%NO2전감기%CuO납미과립%YSZ
sputtering method%mixed potential%NO2 sensor%CuO nanoparticles%YSZ
采用溅射法制备的纳米结构CuO为敏感电极,钇稳定氧化锆(YSZ)为固体电解质制成了一种混合位型NO2传感器.采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别表征了CuO敏感电极的相组成和微观形貌.研究了Cu的不同溅射时间对CuO敏感电极微观结构及传感器敏感性能的影响.结果表明,CuO颗粒随着Cu溅射时间的增长而增大,制成的传感器在600～700℃范围内对25～400mL/m3的NO2具有较好的敏感性能,传感器响应信号与NO2 浓度的对数呈现良好的线性关系,其中60min,Cu传感器在650℃时灵敏度达41.47mY/decade,对于400mL/m3的NO2,90％的响应时间和恢复时间分别约为160、260s,体积分数0～10％的CO2对传感器的响应几乎没有影响,传感器具有较好的敏感度、重现性和稳定性.
採用濺射法製備的納米結構CuO為敏感電極,釔穩定氧化鋯(YSZ)為固體電解質製成瞭一種混閤位型NO2傳感器.採用X射線衍射儀(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)分彆錶徵瞭CuO敏感電極的相組成和微觀形貌.研究瞭Cu的不同濺射時間對CuO敏感電極微觀結構及傳感器敏感性能的影響.結果錶明,CuO顆粒隨著Cu濺射時間的增長而增大,製成的傳感器在600～700℃範圍內對25～400mL/m3的NO2具有較好的敏感性能,傳感器響應信號與NO2 濃度的對數呈現良好的線性關繫,其中60min,Cu傳感器在650℃時靈敏度達41.47mY/decade,對于400mL/m3的NO2,90％的響應時間和恢複時間分彆約為160、260s,體積分數0～10％的CO2對傳感器的響應幾乎沒有影響,傳感器具有較好的敏感度、重現性和穩定性.
채용천사법제비적납미결구CuO위민감전겁,을은정양화고(YSZ)위고체전해질제성료일충혼합위형NO2전감기.채용X사선연사의(XRD)화소묘전자현미경(SEM)분별표정료CuO민감전겁적상조성화미관형모.연구료Cu적불동천사시간대CuO민감전겁미관결구급전감기민감성능적영향.결과표명,CuO과립수착Cu천사시간적증장이증대,제성적전감기재600～700℃범위내대25～400mL/m3적NO2구유교호적민감성능,전감기향응신호여NO2 농도적대수정현량호적선성관계,기중60min,Cu전감기재650℃시령민도체41.47mY/decade,대우400mL/m3적NO2,90％적향응시간화회복시간분별약위160、260s,체적분수0～10％적CO2대전감기적향응궤호몰유영향,전감기구유교호적민감도、중현성화은정성.
