科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2013年
22期
63
,共1页
张延豫%时振彬%李士光%陈明文
張延豫%時振彬%李士光%陳明文
장연예%시진빈%리사광%진명문
石英晶片%倾角传感器%MEMS加工技术
石英晶片%傾角傳感器%MEMS加工技術
석영정편%경각전감기%MEMS가공기술
该文利用石英晶片的压电特性,针对传统倾角传感器的缺点,提出了一种新型的倾角传感器设计方法.应用本文提出的设计方法设计出的传感器与其他传感器相比具有体积小,灵敏度高,抗干扰能力强等优点.同时对传感器的原理,结构,信号处理电路进行了分析.
該文利用石英晶片的壓電特性,針對傳統傾角傳感器的缺點,提齣瞭一種新型的傾角傳感器設計方法.應用本文提齣的設計方法設計齣的傳感器與其他傳感器相比具有體積小,靈敏度高,抗榦擾能力彊等優點.同時對傳感器的原理,結構,信號處理電路進行瞭分析.
해문이용석영정편적압전특성,침대전통경각전감기적결점,제출료일충신형적경각전감기설계방법.응용본문제출적설계방법설계출적전감기여기타전감기상비구유체적소,령민도고,항간우능력강등우점.동시대전감기적원리,결구,신호처리전로진행료분석.
