科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2014年
1期
41-44,58
,共5页
蒋相站%张季%李文亮%姚洪斌%刘永新%刘佳
蔣相站%張季%李文亮%姚洪斌%劉永新%劉佳
장상참%장계%리문량%요홍빈%류영신%류가
双频容性耦合等离子体%四极杆质谱%离子能量分布%平均能量
雙頻容性耦閤等離子體%四極桿質譜%離子能量分佈%平均能量
쌍빈용성우합등리자체%사겁간질보%리자능량분포%평균능량
dual frequency capacitively coupled plasma%quadrupole mass spectrometer%ion energy distribution%average energy
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响.研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显.Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低.增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移.同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子.
利用四極桿質譜儀研究瞭Ar/O2混閤氣體放電中低頻頻率和O2含量對離子能量分佈和平均能量的影響.研究結果錶明噹低頻頻率增大時,離子能量逐漸由中頻機製嚮高頻機製變化,其能量分佈的馬鞍型雙峰結構逐漸收縮,變得不明顯.Ar+離子由于共振電荷交換的影響穫得更多的低能離子,其平均能量比O2+離子的稍低.增大氧氣含量,電離率增大,Ar+離子和O2+離子的高低能峰均嚮高能區移動,最大能量值逐漸右移.同等條件下的Ar+離子的平均能量均低于O2+離子.
이용사겁간질보의연구료Ar/O2혼합기체방전중저빈빈솔화O2함량대리자능량분포화평균능량적영향.연구결과표명당저빈빈솔증대시,리자능량축점유중빈궤제향고빈궤제변화,기능량분포적마안형쌍봉결구축점수축,변득불명현.Ar+리자유우공진전하교환적영향획득경다적저능리자,기평균능량비O2+리자적초저.증대양기함량,전리솔증대,Ar+리자화O2+리자적고저능봉균향고능구이동,최대능량치축점우이.동등조건하적Ar+리자적평균능량균저우O2+리자.
