科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2013年
13期
196-197
,共2页
二氧化硅%腐蚀速率%腐蚀深度%表面形貌%粗糙度
二氧化硅%腐蝕速率%腐蝕深度%錶麵形貌%粗糙度
이양화규%부식속솔%부식심도%표면형모%조조도
本文讨论了二氧化硅在氢氟酸缓冲(BHF)腐蚀溶液中的腐蚀特性.研究了二氧化硅在腐蚀液中的腐蚀速率、表面粗糙度及腐蚀深度随着NH4F配比、HF配比及腐蚀液温度的变化规律.通过改变腐蚀液配比和腐蚀温度等条件,从腐蚀速率及表面形貌等方面进行了比较和分析,确定不同条件下二氧化硅的腐蚀速率,以及腐蚀条件对二氧化硅表面粗糙度及表面深度的影响.
本文討論瞭二氧化硅在氫氟痠緩遲(BHF)腐蝕溶液中的腐蝕特性.研究瞭二氧化硅在腐蝕液中的腐蝕速率、錶麵粗糙度及腐蝕深度隨著NH4F配比、HF配比及腐蝕液溫度的變化規律.通過改變腐蝕液配比和腐蝕溫度等條件,從腐蝕速率及錶麵形貌等方麵進行瞭比較和分析,確定不同條件下二氧化硅的腐蝕速率,以及腐蝕條件對二氧化硅錶麵粗糙度及錶麵深度的影響.
본문토론료이양화규재경불산완충(BHF)부식용액중적부식특성.연구료이양화규재부식액중적부식속솔、표면조조도급부식심도수착NH4F배비、HF배비급부식액온도적변화규률.통과개변부식액배비화부식온도등조건,종부식속솔급표면형모등방면진행료비교화분석,학정불동조건하이양화규적부식속솔,이급부식조건대이양화규표면조조도급표면심도적영향.
