功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
6期
893-896
,共4页
周章渝%杨发顺%王松%杨健%傅兴华
週章渝%楊髮順%王鬆%楊健%傅興華
주장투%양발순%왕송%양건%부흥화
MgB2超导薄膜%沉积温度%混合物理化学气相法(HPCVD)
MgB2超導薄膜%沉積溫度%混閤物理化學氣相法(HPCVD)
MgB2초도박막%침적온도%혼합물이화학기상법(HPCVD)
介绍了采用混合物理化学气相法(HPCVD)工艺以乙硼烷(B2H6)为硼源在热蒸发镀膜机内以不同的沉积温度在(0001)取向的Al2O3单晶基底上制备了MgB2超导薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法电阻测量分析了沉积温度对生成的MgB2薄膜的表面形貌、晶体结构、超导转变温度的影响.结果表明,随着基底温度的升高,MgB2相结晶程度提高,c轴取向程度增强,薄膜整体性能显著提高.
介紹瞭採用混閤物理化學氣相法(HPCVD)工藝以乙硼烷(B2H6)為硼源在熱蒸髮鍍膜機內以不同的沉積溫度在(0001)取嚮的Al2O3單晶基底上製備瞭MgB2超導薄膜,採用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)和標準四線法電阻測量分析瞭沉積溫度對生成的MgB2薄膜的錶麵形貌、晶體結構、超導轉變溫度的影響.結果錶明,隨著基底溫度的升高,MgB2相結晶程度提高,c軸取嚮程度增彊,薄膜整體性能顯著提高.
개소료채용혼합물이화학기상법(HPCVD)공예이을붕완(B2H6)위붕원재열증발도막궤내이불동적침적온도재(0001)취향적Al2O3단정기저상제비료MgB2초도박막,채용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사(XRD)화표준사선법전조측량분석료침적온도대생성적MgB2박막적표면형모、정체결구、초도전변온도적영향.결과표명,수착기저온도적승고,MgB2상결정정도제고,c축취향정도증강,박막정체성능현저제고.
