中南民族大学学报（自然科学版）
中南民族大學學報（自然科學版）
중남민족대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH-CENTRAL UNIVERSITY FOR NATIONALITIES(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
1期
58-64
,共7页
氧化锌薄膜%掺杂%光电性能
氧化鋅薄膜%摻雜%光電性能
양화자박막%참잡%광전성능
以镓钛共掺杂氧化锌(GTZO)陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了GTZO透明导电薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外光分光光度计和四探针仪等测试表征,研究了基片温度对GTZO薄膜晶体结构、电学性质和光学性能的影响.结果表明:所制备的GTZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向,其结晶质量、晶粒尺寸、方块电阻、透过率、光学能隙以及品质因数都与基片温度密切相关,当基片温度为350℃时,GTZO薄膜的品质因数最大,具有最佳的光电综合性能.
以鎵鈦共摻雜氧化鋅(GTZO)陶瓷靶作為濺射源材料,採用射頻磁控濺射技術在玻璃基片上製備瞭GTZO透明導電薄膜,通過X射線衍射儀(XRD)、可見-紫外光分光光度計和四探針儀等測試錶徵,研究瞭基片溫度對GTZO薄膜晶體結構、電學性質和光學性能的影響.結果錶明:所製備的GTZO薄膜均為六角纖鋅礦結構,併具有(002)擇優取嚮,其結晶質量、晶粒呎吋、方塊電阻、透過率、光學能隙以及品質因數都與基片溫度密切相關,噹基片溫度為350℃時,GTZO薄膜的品質因數最大,具有最佳的光電綜閤性能.
이가태공참잡양화자(GTZO)도자파작위천사원재료,채용사빈자공천사기술재파리기편상제비료GTZO투명도전박막,통과X사선연사의(XRD)、가견-자외광분광광도계화사탐침의등측시표정,연구료기편온도대GTZO박막정체결구、전학성질화광학성능적영향.결과표명:소제비적GTZO박막균위륙각섬자광결구,병구유(002)택우취향,기결정질량、정립척촌、방괴전조、투과솔、광학능극이급품질인수도여기편온도밀절상관,당기편온도위350℃시,GTZO박막적품질인수최대,구유최가적광전종합성능.
