真空
真空
진공
VACUUM
2013年
2期
27-30
,共4页
熊凯%池华敬%郭帅%许丽%王双%陈革%章其初
熊凱%池華敬%郭帥%許麗%王雙%陳革%章其初
웅개%지화경%곽수%허려%왕쌍%진혁%장기초
增透膜%反应溅射%沸水氧化%氧化铝%低铁玻璃
增透膜%反應濺射%沸水氧化%氧化鋁%低鐵玻璃
증투막%반응천사%비수양화%양화려%저철파리
在玻璃基片上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体O2的混合气体中,真空磁控溅射半透明的Al-Al2O3金属陶瓷薄膜,再将沉积薄膜的玻璃基片浸入沸腾的去离子水中氧化,制备成陶瓷增透膜.优化镀膜工艺和沸水氧化时间,在3.2 mm厚的低铁玻璃载片上单面沉积的增透膜的太阳透射比Te由未镀膜原片的90.4％增加到93.9％,提高了3.5％,可见光透射比Tv由91.6％增加到95.5％,提高了3.9％.双面沉积增透膜玻璃载片的Te达到96.2％,增加了5.8％,Tv达到97.2％,增加了5.6％.经过400℃高温持续40 min烘烤后膜层的光学性能基本不变.
在玻璃基片上採用金屬Al靶在濺射氣體Ar和反應氣體O2的混閤氣體中,真空磁控濺射半透明的Al-Al2O3金屬陶瓷薄膜,再將沉積薄膜的玻璃基片浸入沸騰的去離子水中氧化,製備成陶瓷增透膜.優化鍍膜工藝和沸水氧化時間,在3.2 mm厚的低鐵玻璃載片上單麵沉積的增透膜的太暘透射比Te由未鍍膜原片的90.4％增加到93.9％,提高瞭3.5％,可見光透射比Tv由91.6％增加到95.5％,提高瞭3.9％.雙麵沉積增透膜玻璃載片的Te達到96.2％,增加瞭5.8％,Tv達到97.2％,增加瞭5.6％.經過400℃高溫持續40 min烘烤後膜層的光學性能基本不變.
재파리기편상채용금속Al파재천사기체Ar화반응기체O2적혼합기체중,진공자공천사반투명적Al-Al2O3금속도자박막,재장침적박막적파리기편침입비등적거리자수중양화,제비성도자증투막.우화도막공예화비수양화시간,재3.2 mm후적저철파리재편상단면침적적증투막적태양투사비Te유미도막원편적90.4％증가도93.9％,제고료3.5％,가견광투사비Tv유91.6％증가도95.5％,제고료3.9％.쌍면침적증투막파리재편적Te체도96.2％,증가료5.8％,Tv체도97.2％,증가료5.6％.경과400℃고온지속40 min홍고후막층적광학성능기본불변.
