真空
真空
진공
VACUUM
2013年
2期
18-21
,共4页
冯松%李蓉萍%田磊%邹凯%刘永生
馮鬆%李蓉萍%田磊%鄒凱%劉永生
풍송%리용평%전뢰%추개%류영생
真空蒸发%Sb掺杂%CdTe薄膜%性能研究
真空蒸髮%Sb摻雜%CdTe薄膜%性能研究
진공증발%Sb참잡%CdTe박막%성능연구
采用真空蒸发技术在玻璃衬底上制备了Sb掺杂的CdTe薄膜,薄膜为沿(111)晶向择优生长的立方闪锌矿结构的CdTe,结果表明Sb掺杂使得薄膜表面更加均匀致密,改善了薄膜的结晶状况,增大了薄膜的光吸收范围,同时也使薄膜的带隙宽度有所减小,大大降低了薄膜的电阻率.
採用真空蒸髮技術在玻璃襯底上製備瞭Sb摻雜的CdTe薄膜,薄膜為沿(111)晶嚮擇優生長的立方閃鋅礦結構的CdTe,結果錶明Sb摻雜使得薄膜錶麵更加均勻緻密,改善瞭薄膜的結晶狀況,增大瞭薄膜的光吸收範圍,同時也使薄膜的帶隙寬度有所減小,大大降低瞭薄膜的電阻率.
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