真空
真空
진공
VACUUM
2013年
2期
74-78
,共5页
压强%等离子体%交叉场%有限元%数值模拟
壓彊%等離子體%交扠場%有限元%數值模擬
압강%등리자체%교차장%유한원%수치모의
依据直流辉光放电理论,考虑带电粒子的连续性方程、泊松方程以及在电磁交叉场条件下的麦克斯韦方程组,利用数值模拟方法研究了压强对等离子体交叉场调制开关(简称PCMS管)中电子温度、击穿电压、着火时间以及电子密度分布的影响.得出了小型PCMS管中压强设置的合理取值范围,所得模拟结果与实验测试结果一致.
依據直流輝光放電理論,攷慮帶電粒子的連續性方程、泊鬆方程以及在電磁交扠場條件下的麥剋斯韋方程組,利用數值模擬方法研究瞭壓彊對等離子體交扠場調製開關(簡稱PCMS管)中電子溫度、擊穿電壓、著火時間以及電子密度分佈的影響.得齣瞭小型PCMS管中壓彊設置的閤理取值範圍,所得模擬結果與實驗測試結果一緻.
의거직류휘광방전이론,고필대전입자적련속성방정、박송방정이급재전자교차장조건하적맥극사위방정조,이용수치모의방법연구료압강대등리자체교차장조제개관(간칭PCMS관)중전자온도、격천전압、착화시간이급전자밀도분포적영향.득출료소형PCMS관중압강설치적합리취치범위,소득모의결과여실험측시결과일치.