计算机仿真
計算機倣真
계산궤방진
COMPUTER SIMULATION
2013年
3期
92-96
,共5页
屈晓南%胡明%张世名%尹玉刚
屈曉南%鬍明%張世名%尹玉剛
굴효남%호명%장세명%윤옥강
高温压力传感器%热应力%结构优化%计算机仿真
高溫壓力傳感器%熱應力%結構優化%計算機倣真
고온압력전감기%열응력%결구우화%계산궤방진
高温压力传感器,在航空航天及工业领域有广阔的应用前景.由于工作在高温环境中,需要进行封装结构和优化,以减小器件因热膨胀系数不匹配而产生的热应力.以热机械方程为理论基础,利用ANSYS Workbench计算机仿真工具,通过计算被封装元件表面的Von-Mises应力,调整衬底直径、衬底厚度以及粘合层厚度,对封装结构进行优化实验,结果表明,采用优化后的封装结构,传感器工作于500℃时,敏感元件中心应力值减小为原来的0.37％,器件的稳定性得到大幅提高.
高溫壓力傳感器,在航空航天及工業領域有廣闊的應用前景.由于工作在高溫環境中,需要進行封裝結構和優化,以減小器件因熱膨脹繫數不匹配而產生的熱應力.以熱機械方程為理論基礎,利用ANSYS Workbench計算機倣真工具,通過計算被封裝元件錶麵的Von-Mises應力,調整襯底直徑、襯底厚度以及粘閤層厚度,對封裝結構進行優化實驗,結果錶明,採用優化後的封裝結構,傳感器工作于500℃時,敏感元件中心應力值減小為原來的0.37％,器件的穩定性得到大幅提高.
고온압력전감기,재항공항천급공업영역유엄활적응용전경.유우공작재고온배경중,수요진행봉장결구화우화,이감소기건인열팽창계수불필배이산생적열응력.이열궤계방정위이론기출,이용ANSYS Workbench계산궤방진공구,통과계산피봉장원건표면적Von-Mises응력,조정츤저직경、츤저후도이급점합층후도,대봉장결구진행우화실험,결과표명,채용우화후적봉장결구,전감기공작우500℃시,민감원건중심응력치감소위원래적0.37％,기건적은정성득도대폭제고.
