中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
7期
886-889
,共4页
徐从裕%孙雅琼%方文琼%罗洋%袁航周
徐從裕%孫雅瓊%方文瓊%囉洋%袁航週
서종유%손아경%방문경%라양%원항주
超声电机%驱动轨迹%压电陶瓷%调节机构
超聲電機%驅動軌跡%壓電陶瓷%調節機構
초성전궤%구동궤적%압전도자%조절궤구
为解决超声电机驱动轨迹及微行程纳米定位的可控问题,设计了一种基于双压电陶瓷驱动的调节机构,将双压电陶瓷驱动与超声电机驱动轨迹及微行程纳米定位控制关联起来,并利用ANSYSWorkbench有限元分析软件对调节机构进行了分析.通过对双压电陶瓷施加0～54V调节电压的实验,证实了调节机构能够使超声电机驱动头在x和y两个方向上获得所需的微纳米调节功能,调节范围为,x方向±1.2～±2.36μm,y方向±4.0μm,调节分辨率1～2nm,满足超声电机对驱动轨迹及微行程纳米定位的参数控制要求.
為解決超聲電機驅動軌跡及微行程納米定位的可控問題,設計瞭一種基于雙壓電陶瓷驅動的調節機構,將雙壓電陶瓷驅動與超聲電機驅動軌跡及微行程納米定位控製關聯起來,併利用ANSYSWorkbench有限元分析軟件對調節機構進行瞭分析.通過對雙壓電陶瓷施加0～54V調節電壓的實驗,證實瞭調節機構能夠使超聲電機驅動頭在x和y兩箇方嚮上穫得所需的微納米調節功能,調節範圍為,x方嚮±1.2～±2.36μm,y方嚮±4.0μm,調節分辨率1～2nm,滿足超聲電機對驅動軌跡及微行程納米定位的參數控製要求.
위해결초성전궤구동궤적급미행정납미정위적가공문제,설계료일충기우쌍압전도자구동적조절궤구,장쌍압전도자구동여초성전궤구동궤적급미행정납미정위공제관련기래,병이용ANSYSWorkbench유한원분석연건대조절궤구진행료분석.통과대쌍압전도자시가0～54V조절전압적실험,증실료조절궤구능구사초성전궤구동두재x화y량개방향상획득소수적미납미조절공능,조절범위위,x방향±1.2～±2.36μm,y방향±4.0μm,조절분변솔1～2nm,만족초성전궤대구동궤적급미행정납미정위적삼수공제요구.
