西北大学学报（自然科学版）
西北大學學報（自然科學版）
서북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
5期
710-714,718
,共6页
刘智鹏%罗昊%朱瑞%王朋伟%马军%经光银
劉智鵬%囉昊%硃瑞%王朋偉%馬軍%經光銀
류지붕%라호%주서%왕붕위%마군%경광은
残余应力%裂纹%标度律%PZT薄膜%射频磁控溅射
殘餘應力%裂紋%標度律%PZT薄膜%射頻磁控濺射
잔여응력%렬문%표도률%PZT박막%사빈자공천사
residual stress%cracks%scaling law%PZT film%RF-magnetron sputtering
研究锆钛酸铅(PZT)薄膜退火后表面裂纹和褶皱的形成机制,建立裂纹空间斑图所遵循的物理标度律.通过射频磁控溅射的方法,直接在无缓冲层的硅基底上沉积不同厚度的PZT薄膜,并在650℃的温度下对其退火.使用光学显微镜以及扫描电子显微镜(SEM)对不同条件下制备的PZT薄膜进行表征,并从能量角度建立理论模型,揭示裂纹斑图的空间标度律.裂纹空间波长(间距)与薄膜的厚度遵循良好的线性标度律,这些裂纹将薄膜分成许多含有等级结构斑图的多边形区域.此外,在薄膜中褶皱气泡与裂纹共存,发现褶皱与裂纹的产生可以通过改变基底温度而去耦合,并通过提高基底温度有效地抑制裂纹的形成.将有助于了解裂纹的形成机制与抑制方法,并为建立薄膜力学性质与其光电等物理性能的内在联系提供重要的理论与实验依据.
研究鋯鈦痠鉛(PZT)薄膜退火後錶麵裂紋和褶皺的形成機製,建立裂紋空間斑圖所遵循的物理標度律.通過射頻磁控濺射的方法,直接在無緩遲層的硅基底上沉積不同厚度的PZT薄膜,併在650℃的溫度下對其退火.使用光學顯微鏡以及掃描電子顯微鏡(SEM)對不同條件下製備的PZT薄膜進行錶徵,併從能量角度建立理論模型,揭示裂紋斑圖的空間標度律.裂紋空間波長(間距)與薄膜的厚度遵循良好的線性標度律,這些裂紋將薄膜分成許多含有等級結構斑圖的多邊形區域.此外,在薄膜中褶皺氣泡與裂紋共存,髮現褶皺與裂紋的產生可以通過改變基底溫度而去耦閤,併通過提高基底溫度有效地抑製裂紋的形成.將有助于瞭解裂紋的形成機製與抑製方法,併為建立薄膜力學性質與其光電等物理性能的內在聯繫提供重要的理論與實驗依據.
연구고태산연(PZT)박막퇴화후표면렬문화습추적형성궤제,건립렬문공간반도소준순적물리표도률.통과사빈자공천사적방법,직접재무완충층적규기저상침적불동후도적PZT박막,병재650℃적온도하대기퇴화.사용광학현미경이급소묘전자현미경(SEM)대불동조건하제비적PZT박막진행표정,병종능량각도건립이론모형,게시렬문반도적공간표도률.렬문공간파장(간거)여박막적후도준순량호적선성표도률,저사렬문장박막분성허다함유등급결구반도적다변형구역.차외,재박막중습추기포여렬문공존,발현습추여렬문적산생가이통과개변기저온도이거우합,병통과제고기저온도유효지억제렬문적형성.장유조우료해렬문적형성궤제여억제방법,병위건립박막역학성질여기광전등물이성능적내재련계제공중요적이론여실험의거.
