机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2014年
10期
64-66
,共3页
单镜%支撑结构%面形%精度
單鏡%支撐結構%麵形%精度
단경%지탱결구%면형%정도
Single Mirror%Supporting Structure%Surface Profile%Precision
单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一.为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析.由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS).分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考.
單鏡支撐技術是影響光刻機光刻精度的關鍵因素之一.為瞭分析某光刻物鏡單鏡支撐結構對鏡麵麵形的影響,採用接觸有限元分析的方法對某光刻物鏡繫統單鏡支撐結構進行分析.由于單鏡還受到預緊力和夾緊結構的影響,分析時建立預緊力大小不同,夾緊結構剛度不同,支撐結構剛度不同的有限元模型,計算鏡體的自重變形,併由此計算鏡麵麵形的峰穀值(PV)、均方根值(RMS).分析結果錶明,噹支撐結構特徵呎吋D≥0.6 mm時,鏡麵麵形精度對支撐結構特徵呎吋D的穩定性最好,這為以後不同口徑光刻機物鏡繫統的單鏡支撐技術提供參攷.
단경지탱기술시영향광각궤광각정도적관건인소지일.위료분석모광각물경단경지탱결구대경면면형적영향,채용접촉유한원분석적방법대모광각물경계통단경지탱결구진행분석.유우단경환수도예긴력화협긴결구적영향,분석시건립예긴력대소불동,협긴결구강도불동,지탱결구강도불동적유한원모형,계산경체적자중변형,병유차계산경면면형적봉곡치(PV)、균방근치(RMS).분석결과표명,당지탱결구특정척촌D≥0.6 mm시,경면면형정도대지탱결구특정척촌D적은정성최호,저위이후불동구경광각궤물경계통적단경지탱기술제공삼고.
