光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
6期
1562-1570
,共9页
碳纳米管%静电诱导%可控自组装%薄膜表征%电学性能
碳納米管%靜電誘導%可控自組裝%薄膜錶徵%電學性能
탄납미관%정전유도%가공자조장%박막표정%전학성능
Carbon Nanotube (CNT)%electrostatic induction%controllable self-assembly%film characterization%electric property
为了给高性能微机电系统(MEMS)薄膜器件提供复合功能薄膜材料,本文将功能化碳纳米管与聚电解质溶液交互沉积技术用于静电诱导逐层自组装碳纳米管/聚合物薄膜.对薄膜制备及其性能的可调控性进行了表征和测试.扫描电镜显微(SEM)形貌观察表明,碳纳米管与聚合物分子链结合致密,形成了质地均匀的随机碳纳米管网络结构.拉曼光谱结果表明,碳纳米管在径向呼吸、缺陷振动、拉伸振动等模式下的指纹特征光谱证实了碳纳米管的有效组装和加载.用石英晶体微天平(QCM)对碳纳米管/聚合物薄膜自组装过程进行了在线实时监测,结果揭示了沉积薄膜厚度和薄膜结构的可调控性.当聚电解质层数由0递增到5时,子层膜厚由6.31 nm增加到111.59 nm,碳纳米管加载体积比由72.35％减小到14.78％.此外,基于I-V表征研究了碳纳米管填充体积比及其薄膜厚度对碳纳米管/聚合物薄膜电学特性的影响,为实现碳纳米管/聚合物薄膜电学性能的可调节性提供了实验及理论依据.
為瞭給高性能微機電繫統(MEMS)薄膜器件提供複閤功能薄膜材料,本文將功能化碳納米管與聚電解質溶液交互沉積技術用于靜電誘導逐層自組裝碳納米管/聚閤物薄膜.對薄膜製備及其性能的可調控性進行瞭錶徵和測試.掃描電鏡顯微(SEM)形貌觀察錶明,碳納米管與聚閤物分子鏈結閤緻密,形成瞭質地均勻的隨機碳納米管網絡結構.拉曼光譜結果錶明,碳納米管在徑嚮呼吸、缺陷振動、拉伸振動等模式下的指紋特徵光譜證實瞭碳納米管的有效組裝和加載.用石英晶體微天平(QCM)對碳納米管/聚閤物薄膜自組裝過程進行瞭在線實時鑑測,結果揭示瞭沉積薄膜厚度和薄膜結構的可調控性.噹聚電解質層數由0遞增到5時,子層膜厚由6.31 nm增加到111.59 nm,碳納米管加載體積比由72.35％減小到14.78％.此外,基于I-V錶徵研究瞭碳納米管填充體積比及其薄膜厚度對碳納米管/聚閤物薄膜電學特性的影響,為實現碳納米管/聚閤物薄膜電學性能的可調節性提供瞭實驗及理論依據.
위료급고성능미궤전계통(MEMS)박막기건제공복합공능박막재료,본문장공능화탄납미관여취전해질용액교호침적기술용우정전유도축층자조장탄납미관/취합물박막.대박막제비급기성능적가조공성진행료표정화측시.소묘전경현미(SEM)형모관찰표명,탄납미관여취합물분자련결합치밀,형성료질지균균적수궤탄납미관망락결구.랍만광보결과표명,탄납미관재경향호흡、결함진동、랍신진동등모식하적지문특정광보증실료탄납미관적유효조장화가재.용석영정체미천평(QCM)대탄납미관/취합물박막자조장과정진행료재선실시감측,결과게시료침적박막후도화박막결구적가조공성.당취전해질층수유0체증도5시,자층막후유6.31 nm증가도111.59 nm,탄납미관가재체적비유72.35％감소도14.78％.차외,기우I-V표정연구료탄납미관전충체적비급기박막후도대탄납미관/취합물박막전학특성적영향,위실현탄납미관/취합물박막전학성능적가조절성제공료실험급이론의거.
