光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
6期
1555-1561
,共7页
郑高峰%何广奇%刘海燕%郑建毅%李文望%孙道恒
鄭高峰%何廣奇%劉海燕%鄭建毅%李文望%孫道恆
정고봉%하엄기%류해연%정건의%리문망%손도항
静电纺丝%纳米纤维%氧化锌%气体传感器%高温氧化
靜電紡絲%納米纖維%氧化鋅%氣體傳感器%高溫氧化
정전방사%납미섬유%양화자%기체전감기%고온양화
electrospinning%nanofiber%zinc oxide%gas sensor%high temperature oxidation
研究了用静电纺丝技术制造微纳气体传感器的方法.采用PVP(Polyvinyl Pyrrolidone)/Zn(Ac)2和PEO(Polyoxyethylene)/Zn(Ac)2两种混合溶液作为原料,通过电纺喷射获得了复合前驱体纳米纤维;在空气中加热至500 C去除聚合物,并使Zn(Ac)2受热分解、氧化获得ZnO纳米纤维;利用X射线衍射术(XRD)对ZnO纳米纤维进行成分表征;最后实验检测了ZnO纳米纤维气敏传感器对乙醇和丙酮气体的传感特性.结果显示:以PVP/Zn(Ac)2、PEO/Zn(Ac)2复合纳米纤维为前驱体制得的ZnO纳米纤维平均直径分别为308 nm、184 nm;这种纳米纤维经加热氧化可获得高纯度ZnO纳米纤维;在室温条件ZnO纳米纤维气敏传感器对目标气体传感响应时间小于1 s,其传感灵敏值随着气体浓度的增大而升高.另外,以PEO/Zn(Ac)2为前驱体制得的ZnO纳米纤维表面粗糙、比表面积大,具有较高的传感灵敏值,对于乙醇、丙酮两种目标气体的最高灵敏值分别为215.69和118.13.得到的结果表明:静电纺丝技术的引入为半导体微纳气敏传感器的集成制造提供了有效的方法.
研究瞭用靜電紡絲技術製造微納氣體傳感器的方法.採用PVP(Polyvinyl Pyrrolidone)/Zn(Ac)2和PEO(Polyoxyethylene)/Zn(Ac)2兩種混閤溶液作為原料,通過電紡噴射穫得瞭複閤前驅體納米纖維;在空氣中加熱至500 C去除聚閤物,併使Zn(Ac)2受熱分解、氧化穫得ZnO納米纖維;利用X射線衍射術(XRD)對ZnO納米纖維進行成分錶徵;最後實驗檢測瞭ZnO納米纖維氣敏傳感器對乙醇和丙酮氣體的傳感特性.結果顯示:以PVP/Zn(Ac)2、PEO/Zn(Ac)2複閤納米纖維為前驅體製得的ZnO納米纖維平均直徑分彆為308 nm、184 nm;這種納米纖維經加熱氧化可穫得高純度ZnO納米纖維;在室溫條件ZnO納米纖維氣敏傳感器對目標氣體傳感響應時間小于1 s,其傳感靈敏值隨著氣體濃度的增大而升高.另外,以PEO/Zn(Ac)2為前驅體製得的ZnO納米纖維錶麵粗糙、比錶麵積大,具有較高的傳感靈敏值,對于乙醇、丙酮兩種目標氣體的最高靈敏值分彆為215.69和118.13.得到的結果錶明:靜電紡絲技術的引入為半導體微納氣敏傳感器的集成製造提供瞭有效的方法.
연구료용정전방사기술제조미납기체전감기적방법.채용PVP(Polyvinyl Pyrrolidone)/Zn(Ac)2화PEO(Polyoxyethylene)/Zn(Ac)2량충혼합용액작위원료,통과전방분사획득료복합전구체납미섬유;재공기중가열지500 C거제취합물,병사Zn(Ac)2수열분해、양화획득ZnO납미섬유;이용X사선연사술(XRD)대ZnO납미섬유진행성분표정;최후실험검측료ZnO납미섬유기민전감기대을순화병동기체적전감특성.결과현시:이PVP/Zn(Ac)2、PEO/Zn(Ac)2복합납미섬유위전구체제득적ZnO납미섬유평균직경분별위308 nm、184 nm;저충납미섬유경가열양화가획득고순도ZnO납미섬유;재실온조건ZnO납미섬유기민전감기대목표기체전감향응시간소우1 s,기전감령민치수착기체농도적증대이승고.령외,이PEO/Zn(Ac)2위전구체제득적ZnO납미섬유표면조조、비표면적대,구유교고적전감령민치,대우을순、병동량충목표기체적최고령민치분별위215.69화118.13.득도적결과표명:정전방사기술적인입위반도체미납기민전감기적집성제조제공료유효적방법.
