强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
5期
201-205
,共5页
单云冲%阮久福%杨军%邓光晟%吕国强
單雲遲%阮久福%楊軍%鄧光晟%呂國彊
단운충%원구복%양군%산광성%려국강
双光栅%太赫兹%光刻%超厚胶%深宽比
雙光柵%太赫玆%光刻%超厚膠%深寬比
쌍광책%태혁자%광각%초후효%심관비
bi-grating%terahertz%photoetching%ultra-thick photoresist%aspect ratio
介绍了制备某太赫兹频率真空辐射光栅的超厚胶光刻工艺,针对工艺中的难点(大厚度和高深宽比)展开了深入分析.实验分析了基片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影等工艺过程对光刻的影响,通过优化工艺参数,解决了胶膜脱落、开裂,不同胶层间的结合,光栅沟槽间的光刻胶残留等问题,成功制备了厚度为700μm、深宽比为14的侧壁陡直、表面平整的双光栅结构胶膜.
介紹瞭製備某太赫玆頻率真空輻射光柵的超厚膠光刻工藝,針對工藝中的難點(大厚度和高深寬比)展開瞭深入分析.實驗分析瞭基片處理、塗膠、前烘、曝光、後烘、顯影等工藝過程對光刻的影響,通過優化工藝參數,解決瞭膠膜脫落、開裂,不同膠層間的結閤,光柵溝槽間的光刻膠殘留等問題,成功製備瞭厚度為700μm、深寬比為14的側壁陡直、錶麵平整的雙光柵結構膠膜.
개소료제비모태혁자빈솔진공복사광책적초후효광각공예,침대공예중적난점(대후도화고심관비)전개료심입분석.실험분석료기편처리、도효、전홍、폭광、후홍、현영등공예과정대광각적영향,통과우화공예삼수,해결료효막탈락、개렬,불동효층간적결합,광책구조간적광각효잔류등문제,성공제비료후도위700μm、심관비위14적측벽두직、표면평정적쌍광책결구효막.
