强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
5期
130-135
,共6页
薄膜偏振器%入射角%电子束蒸发%激光损伤阈值%损伤形貌
薄膜偏振器%入射角%電子束蒸髮%激光損傷閾值%損傷形貌
박막편진기%입사각%전자속증발%격광손상역치%손상형모
thin film polarizer%incidence angle%electronic beam evaporation method%laser induced damage threshold%damage morphology
通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器.该薄膜为HfO2/SiO2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO2制得.对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044～1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、53°～60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化.该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为4 5 J/cm2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起.
通過組閤長波通和短波通膜堆的方法,設計併製備瞭一種大入射角容差寬帶薄膜偏振器.該薄膜為HfO2/SiO2結構,採用無離子束輔助的電子束蒸髮工藝,蒸髮金屬鉿和SiO2製得.對該膜的透射率光譜、激光損傷閾值和形貌進行瞭研究,結果顯示其不僅在1044～1084 nm波段內都具有很高的對比度,而且在1064 nm波長、53°～60°的入射角範圍內具有很大的消光比和激光損傷閾值,且損傷特性基本不隨入射角變化.該偏振器的P光損傷閾值約為20 J/cm2,損傷主要由基闆與薄膜界麵處的納米級缺陷所引起;S光損傷閾值約為4 5 J/cm2,損傷主要由激光輻照下薄膜錶麵的等離子燒蝕現象引起.
통과조합장파통화단파통막퇴적방법,설계병제비료일충대입사각용차관대박막편진기.해박막위HfO2/SiO2결구,채용무리자속보조적전자속증발공예,증발금속협화SiO2제득.대해막적투사솔광보、격광손상역치화형모진행료연구,결과현시기불부재1044～1084 nm파단내도구유흔고적대비도,이차재1064 nm파장、53°～60°적입사각범위내구유흔대적소광비화격광손상역치,차손상특성기본불수입사각변화.해편진기적P광손상역치약위20 J/cm2,손상주요유기판여박막계면처적납미급결함소인기;S광손상역치약위4 5 J/cm2,손상주요유격광복조하박막표면적등리자소식현상인기.
