强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
5期
52-57
,共6页
刘乾%王洋%杨维川%袁道成
劉乾%王洋%楊維川%袁道成
류건%왕양%양유천%원도성
光谱共焦%光学设计%色差%精密测量%位移传感器
光譜共焦%光學設計%色差%精密測量%位移傳感器
광보공초%광학설계%색차%정밀측량%위이전감기
chromatic confocal microscopy%lens design%chromatic aberration%precision metrology%displacement sensor
研制了高精度的光谱共焦位移测量系统并完成相关测试.基于色差理论和材料优化选择设计一种色差与波长成线性关系的色散物镜,有助于平衡系统在全测量范围的灵敏度.理论分析了系统参数对系统的影响规律,计算了针孔尺寸与系统的分辨率和信噪比的关系,给出了参数优化结果.利用设计的线性色散物镜和参数优化结果,构建了光谱共焦测量系统,完成了系统的校准、测试和应用研究.结果表明,系统的轴向测量范围达到1 mm,分辨力优于0.5μm,全程测量误差小于2μm,符合设计要求.
研製瞭高精度的光譜共焦位移測量繫統併完成相關測試.基于色差理論和材料優化選擇設計一種色差與波長成線性關繫的色散物鏡,有助于平衡繫統在全測量範圍的靈敏度.理論分析瞭繫統參數對繫統的影響規律,計算瞭針孔呎吋與繫統的分辨率和信譟比的關繫,給齣瞭參數優化結果.利用設計的線性色散物鏡和參數優化結果,構建瞭光譜共焦測量繫統,完成瞭繫統的校準、測試和應用研究.結果錶明,繫統的軸嚮測量範圍達到1 mm,分辨力優于0.5μm,全程測量誤差小于2μm,符閤設計要求.
연제료고정도적광보공초위이측량계통병완성상관측시.기우색차이론화재료우화선택설계일충색차여파장성선성관계적색산물경,유조우평형계통재전측량범위적령민도.이론분석료계통삼수대계통적영향규률,계산료침공척촌여계통적분변솔화신조비적관계,급출료삼수우화결과.이용설계적선성색산물경화삼수우화결과,구건료광보공초측량계통,완성료계통적교준、측시화응용연구.결과표명,계통적축향측량범위체도1 mm,분변력우우0.5μm,전정측량오차소우2μm,부합설계요구.
