强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
5期
47-51
,共5页
马骅%陈波%任寰%刘旭%刘勇
馬驊%陳波%任寰%劉旭%劉勇
마화%진파%임환%류욱%류용
光学检测%多次平移法%平面绝对测量%高精度面形检测%仿真分析
光學檢測%多次平移法%平麵絕對測量%高精度麵形檢測%倣真分析
광학검측%다차평이법%평면절대측량%고정도면형검측%방진분석
optical measurement%multiple translation method%absolute flat testing%high precision surface testing simulation analysis
将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形.推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响.仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10-13λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求.
將待測麵形錶示為多項式的和,通過分彆沿x,y嚮多次平移待檢光學元件得到移動前後待測元件麵形差,採用最小二乘法擬閤多項式繫數,得到待檢光學元件的絕對麵形.推導瞭多次平移法的理論公式,併進行瞭倣真實驗,模擬瞭移動次數、移動間隔和採樣點數對測量精度的影響.倣真結果錶明:待測平麵與初始平麵殘差圖的均方根值為5.118×10-13λ,理論誤差達到高精度平麵麵形檢測要求.
장대측면형표시위다항식적화,통과분별연x,y향다차평이대검광학원건득도이동전후대측원건면형차,채용최소이승법의합다항식계수,득도대검광학원건적절대면형.추도료다차평이법적이론공식,병진행료방진실험,모의료이동차수、이동간격화채양점수대측량정도적영향.방진결과표명:대측평면여초시평면잔차도적균방근치위5.118×10-13λ,이론오차체도고정도평면면형검측요구.
