真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2014年
5期
12-16
,共5页
唐伟忠%丁明清%李莉%冯进军
唐偉忠%丁明清%李莉%馮進軍
당위충%정명청%리리%풍진군
微波等离子体法%金刚石膜%微波电真空器件
微波等離子體法%金剛石膜%微波電真空器件
미파등리자체법%금강석막%미파전진공기건
MPCVD%Diamond films%Microwave vacuum electronic devices
金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景.目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟.本文将针对微波电真空器件这一应用背景,简要介绍国内外高品质金刚石膜MPCVD沉积技术的发展现状,进而对金刚石膜材料应用于微波电真空器件领域的一些典型实例进行简单的介绍.
金剛石膜是一種集衆多優異性能于一身的新材料,尤其是其熱導率高、絕緣性能好以及微波介電損耗低等特點,使金剛石膜在微波電真空器件領域有著重要的應用前景.目前,以微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)方法製備高品質金剛石膜的技術已趨嚮成熟.本文將針對微波電真空器件這一應用揹景,簡要介紹國內外高品質金剛石膜MPCVD沉積技術的髮展現狀,進而對金剛石膜材料應用于微波電真空器件領域的一些典型實例進行簡單的介紹.
금강석막시일충집음다우이성능우일신적신재료,우기시기열도솔고、절연성능호이급미파개전손모저등특점,사금강석막재미파전진공기건영역유착중요적응용전경.목전,이미파등리자체화학기상침적(MPCVD)방법제비고품질금강석막적기술이추향성숙.본문장침대미파전진공기건저일응용배경,간요개소국내외고품질금강석막MPCVD침적기술적발전현상,진이대금강석막재료응용우미파전진공기건영역적일사전형실례진행간단적개소.
