河南理工大学学报（自然科学版）
河南理工大學學報（自然科學版）
하남리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN POLYTECHNIC UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2014年
5期
671-674
,共4页
曹国华%蔡红新%张宝庆%李明%康朝阳
曹國華%蔡紅新%張寶慶%李明%康朝暘
조국화%채홍신%장보경%리명%강조양
ITO%表面化学组分%退火处理
ITO%錶麵化學組分%退火處理
ITO%표면화학조분%퇴화처리
ITO%chemical composition of surface%annealing treatment
采用AFM,XPS,Hall等手段分析了氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性质的影响,并用处理的ITO制作了有机电致发光器件.结果表明,退火处理后ITO薄膜的表面粗糙度增加,光学透过率降低.ITO薄膜经0.5h退火后电阻率增大了近2倍,对有机半导体材料的空穴注入能力显著提高,相应的有机发光器件性能得到明显改善.ITO薄膜光电性能的变化归因于ITO表面化学组分的改变.
採用AFM,XPS,Hall等手段分析瞭氧氣氣氛下退火處理對ITO薄膜性質的影響,併用處理的ITO製作瞭有機電緻髮光器件.結果錶明,退火處理後ITO薄膜的錶麵粗糙度增加,光學透過率降低.ITO薄膜經0.5h退火後電阻率增大瞭近2倍,對有機半導體材料的空穴註入能力顯著提高,相應的有機髮光器件性能得到明顯改善.ITO薄膜光電性能的變化歸因于ITO錶麵化學組分的改變.
채용AFM,XPS,Hall등수단분석료양기기분하퇴화처리대ITO박막성질적영향,병용처리적ITO제작료유궤전치발광기건.결과표명,퇴화처리후ITO박막적표면조조도증가,광학투과솔강저.ITO박막경0.5h퇴화후전조솔증대료근2배,대유궤반도체재료적공혈주입능력현저제고,상응적유궤발광기건성능득도명현개선.ITO박막광전성능적변화귀인우ITO표면화학조분적개변.
